초록

본 발명은 MEMS 가속도 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 MEMS 가속도 센서는 기판과, 상기 기판과 평행하게 배치되는 센서 질량체(proof mass)와, 상기 센서 질량체가 상기 기판의 평면 내 방향의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 장착되도록 하는 앵커를 포함하고, 상기 센서 질량체는 상기 회전축을 기준으로 나누어지는 제1 및 제2 파트를 포함하고, 상기 제1 파트는 상기 제2 파트의 무게와 달라지도록 적어도 일부분이 제거된 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

기판;상기 기판과 평행하게 배치되는 센서 질량체(proof mass); 및상기 센서 질량체가 상기 기판의 평면과 평행한 방향의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 장착되도록 하는 앵커;를 포함하고,상기 센서 질량체는, 상기 회전축을 기준으로 나누어지는 제1 및 제2 파트를 포함하고,상기 제1 파트와 상기 제2 파트 사이의 공간에 상기 센서 질량체를 관통하도록 식각되어 상기 앵커가 설치되는 앵커 설치파트를 포함하고,상기 제1 파트는, 제2 파트보다 가벼운 무게를 가지도록 둘 이상의 트렌치(Trench)들이 형성되고,상기 앵커 설치파트 및

기판;상기 기판과 평행하게 배치되는 센서 질량체(proof mass); 및상기 센서 질량체가 상기 기판의 평면과 평행한 방향의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 장착되도록 하는 앵커;를 포함하고,상기 센서 질량체는, 상기 회전축을 기준으로 나누어지는 제1 및 제2 파트를 포함하고,상기 제1 파트와 상기 제2 파트 사이의 공간에 상기 센서 질량체를 관통하도록 식각되어 상기 앵커가 설치되는 앵커 설치파트를 포함하고,상기 제1 파트는, 제2 파트보다 가벼운 무게를 가지도록 둘 이상의 트렌치(Trench)들이 형성되고,상기 앵커 설치파트 및 상기 트렌치들은, 에칭 패턴의 크기에 따라 에치 레이트가 바뀌는 현상을 통해 형성되며,상기 앵커 설치파트는 상기 센서 질량체를 관통하여 형성되고, 상기 트렌치들은 관통하지 않는 홈구조를 가지는 것을 특징으로 하는 MEMS 가속도 센서.