초록

본 발명은 에칭의 방향성을 제어하기 위한 에칭 속도 조절용 에칭 첨가제와 이를 포함하는 에칭액 및 이를 이용한 배선의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명의 에칭 첨가제를 사용하는 경우, 회로 형성을 위한 에칭 처리에서 수직 및 수평 방향으로의 에칭 속도와 방향을 제어 할 수 있어, 회로의 바텀(bottom)부로부터 톱(top)부가 1:1 비율에 가깝게 직선성을 확보 할 수 있고, 회로의 에칭 팩터가 무한대에 가까운 높은 에칭 팩터(Etching factor)를 구현 할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

(A) 무기산, 염기성 수산화물 및 알콜류에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물, (B) 트리아졸계 화합물, 테트라졸계 화합물, 이미다졸계 화합물 및 티아졸계 화합물에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물,(C) 폴리에틸렌이민 및(D) 에틸렌디아민, 트리메틸렌디아민, 테트라메틸렌디아민, 디에탄올아민, 트리에틸아민, 트리에탄올아민, 에틸아민, 메틸아민, 헥실아민, 이소부틸아민, tert-부틸아민, 트리부틸아민, 디프로필아민, 디메틸아민, 모노에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 디에탄올아민, N-메틸에틸렌디아민, 트리에틸렌테

(A) 무기산, 염기성 수산화물 및 알콜류에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물, (B) 트리아졸계 화합물, 테트라졸계 화합물, 이미다졸계 화합물 및 티아졸계 화합물에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물,(C) 폴리에틸렌이민 및(D) 에틸렌디아민, 트리메틸렌디아민, 테트라메틸렌디아민, 디에탄올아민, 트리에틸아민, 트리에탄올아민, 에틸아민, 메틸아민, 헥실아민, 이소부틸아민, tert-부틸아민, 트리부틸아민, 디프로필아민, 디메틸아민, 모노에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 디에탄올아민, N-메틸에틸렌디아민, 트리에틸렌테트라아민, 디에틸렌트리아민 및 트리스(2-아미노에틸)아민에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물인 아민계 화합물을 포함하는 에칭액 첨가제.