초록 ▼

본 발명의 현상액 재생 장치는, 현상공정 후 회수된 현상폐액을 공급하는 현상폐액 공급수단과, 상기 현상폐액 공급수단으로부터 상기 현상폐액을 공급받아 상기 현상폐액 내의 현상액과 포토레지스트의 비중의 차이를 이용해 상기 포토레지스트를 분리 제거하여 상기 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 분리된 현상재생액을 생성하는 현상재생액 생성수단과, 현상공정에 상기 현상재생액을 공급하는 현상재생액 공급수단을 포함한다. 또한, 본 발명의 현상액 재생 방법은,현상폐액 공급수단이 현상공정 후 회수된 현상폐액을 현상재생액 생성수단에 공급하는 현상폐액 공급

본 발명의 현상액 재생 장치는, 현상공정 후 회수된 현상폐액을 공급하는 현상폐액 공급수단과, 상기 현상폐액 공급수단으로부터 상기 현상폐액을 공급받아 상기 현상폐액 내의 현상액과 포토레지스트의 비중의 차이를 이용해 상기 포토레지스트를 분리 제거하여 상기 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 분리된 현상재생액을 생성하는 현상재생액 생성수단과, 현상공정에 상기 현상재생액을 공급하는 현상재생액 공급수단을 포함한다. 또한, 본 발명의 현상액 재생 방법은,현상폐액 공급수단이 현상공정 후 회수된 현상폐액을 현상재생액 생성수단에 공급하는 현상폐액 공급단계와, 상기 현상재생액 생성수단이 공급된 현상폐액 내의 현상액과 포토레지스트의 비중의 차이를 이용해 상기 포토레지스트를 분리 제거하여 상기 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 제거된 현상재생액을 생성하는 현상재생액 생성단계와, 현상재생액 공급수단이 생성된 현상재생액을 현상공정에 공급하는 현상재생액 공급단계를 포함한다.

대표청구항 ▼

현상공정 후 회수된 현상폐액을 공급하는 현상폐액 공급수단과,상기 현상폐액 공급수단으로부터 상기 현상폐액을 공급받아 상기 현상폐액 내의 현상액과 포토레지스트의 비중의 차이를 이용해 상기 포토레지스트를 분리 제거하여 상기 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 분리된 현상재생액을 생성하는 현상재생액 생성수단과, 현상공정에 상기 현상재생액을 공급하는 현상재생액 공급수단을 포함하고,상기 현상폐액 공급수단은, 현상기로부터 회수된 상기 현상폐액 내 상기 포토레지스트의 비중이 높아질 정도로 상기 현상폐액의 온도를 하강시키는 냉각수단을 포함하며,상기 현

현상공정 후 회수된 현상폐액을 공급하는 현상폐액 공급수단과,상기 현상폐액 공급수단으로부터 상기 현상폐액을 공급받아 상기 현상폐액 내의 현상액과 포토레지스트의 비중의 차이를 이용해 상기 포토레지스트를 분리 제거하여 상기 현상폐액에서 상기 포토레지스트가 분리된 현상재생액을 생성하는 현상재생액 생성수단과, 현상공정에 상기 현상재생액을 공급하는 현상재생액 공급수단을 포함하고,상기 현상폐액 공급수단은, 현상기로부터 회수된 상기 현상폐액 내 상기 포토레지스트의 비중이 높아질 정도로 상기 현상폐액의 온도를 하강시키는 냉각수단을 포함하며,상기 현상재생액 생성수단은, 상기 냉각수단에 의해 온도가 하강된 상기 현상폐액을 선회 흐름으로 만들고 상기 포토레지스트에 원심력을 작용시킴으로써 상기 현상폐액 내 상기 포토레지스트를 분리 제거하는 사이클론을 포함하고,상기 현상재생액 공급수단은, 상기 현상재생액 생성수단을 통해 배출된 상기 현상재생액의 온도를 현상공정의 사용조건에 부합하도록 상승시키는 가열수단을 포함하는 것을 특징으로 하는, 현상액 재생 장치.