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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

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최초이용시에는
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고체 전구체 및 액체 전구체를 위한 증기 전달 방법 및 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/67
  • C23C-016/448
  • H01L-021/02
출원번호 10-2017-0061558 (2017-05-18)
공개번호 10-2017-0131259 (2017-11-29)
등록번호 10-2325604-0000 (2021-11-08)
우선권정보 미국(US) 62/339,696 (2016-05-20);미국(US) 15/595,788 (2017-05-15)
DOI http://doi.org/10.8080/1020170061558
발명자 / 주소
  • 콜린스 조슈아 / 미국, 캘리포니아 *****, 서니베일, 마라스치노 드라이브 ****
  • 렌즈 에릭 에이치. / 미국, 캘리포니아 *****, 리버모어, 산 미네트 드라이브 ****
  • 다넥 미칼 / 미국, 캘리포니아 *****, 쿠퍼티노, 아멜리아 코트 *****
출원인 / 주소
  • 램 리써치 코포레이션 / 미국 ***** 캘리포니아주 프레몬트 쿠싱 파크웨이 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인인벤싱크
심사청구여부 있음 (2020-05-15)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

기화된 반응물질 및 캐리어 가스의 일정한 전체 플로우 레이트를 유지하면서 기화된 반응물질의 플로우 레이트의 신속한 시프트들을 허용하는 기화기 시스템이 제공된다.

대표청구항 ▼

반도체 프로세싱 툴의 컴포넌트 (component) 로 증기를 공급하기 위한 장치에 있어서,제 1 앰플의 제 1 내부 볼륨 내에 제 1 양의 반응물질을 수용하도록 구성된 상기 제 1 앰플;상기 제 1 내부 볼륨과 유체로 연통하는 제 1 캐리어 가스 유입부;상기 제 1 내부 볼륨과 또한 유체로 연통하는 제 1 증기 유출부;제 1 음속 플로우 제한기;상기 제 1 앰플과 상기 제 1 음속 플로우 제한기 사이에 위치된 상기 제 1 증기 유출부의 위치에서 압력을 측정하도록 구성된 압력 센서;상기 제 1 증기 유출부와 유체로 연통하는 제 1

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. [한국] 유기 금속 기화 공급 장치, 유기 금속 기상 성장 장치,유기 금속 기상 성장 방법, 가스 유량 조절기, 반도체 제조장치 및 반도체 제조 방법 | 우에노 마사키, 우에다 도시오, 나카무라 다카오, 이시카와 고이치, 다카하시 켄, 야사쿠 오사무, 우지에 가즈오, 다케모토 기쿠로우
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  2. [한국] 가스 시스템-공유하는 다수의 반응 챔버들에서의 균일한 프로세싱을 수행하는 방법 | 시바 에이이치로
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  3. [미국] Delivery of solid chemical precursors | Sandhu, Gurtej S.
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  4. [한국] 텅스텐막의 성막 방법, 반도체 장치의 제조 방법 및 기억 매체 | 홋타, 다카노부, 아이바, 야스시, 마에카와, 고지
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  5. [한국] 원료 가스 공급 장치 | 모로이 마사유키
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