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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0096383 (2017-07-28) | |
공개번호 | 10-2019-0012816 (2019-02-11) | |
등록번호 | 10-2486388-0000 (2023-01-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170096383 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-07-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
4개 이상의 방향족 고리를 함유한 다방향족 탄화수소 화합물(polyaromatic hydrocarbon compound) 및 유기용매를 함유하는 그래핀 양자점 조성물을 상압 및 250℃ 이하의 온도에서 반응하는 그래핀 양자점의 제조방법, 그 제조방법에 따라 얻은 그래핀 양자점, 이를 포함하는 하드마스크 조성물과 이를 이용한 패턴의 형성방법 및 상기 하드마스크 조성물로부터 얻은 하드마스크가 제시된다.
4개 이상의 방향족 고리를 함유한 다방향족 탄화수소 화합물(polyaromatic hydrocarbon compound) 및 유기용매를 함유하는 그래핀 양자점 조성물을 상압 및 30℃ 내지 200℃의 온도에서 반응하며, 상기 그래핀 양자점 조성물에서 4개 이상의 방향족 고리를 함유한 다방향족 탄화수소 화합물의 함량은 0.01 내지 40 중량%이며, 상기 그래핀 양자점 조성물이 촉매를 더 포함하며, 상기 그래핀 양자점의 탄소 및 질소의 혼합원자비가 8:1 내지 10:1이고, 상기 그래핀 양자점은 50nm 이하의 사이즈를 갖는, 그래핀
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