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연합인증

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[한국특허] 테라헤르츠 센서 및 그 측정 방법
THz SENSOR AND METHOD FOR DETECTING THEREOF
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G01N-021/3581
  • G01N-021/01
출원번호 10-2017-0105463 (2017-08-21)
공개번호 10-2019-0020463 (2019-03-04)
등록번호 10-2373676-0000 (2022-03-08)
DOI http://doi.org/10.8080/1020170105463
발명자 / 주소
  • 한명수 / 광주광역시 광산구 첨단중앙로**번길 ***, ***동 ***호(산월동, 부영아파트)
  • 김대현 / 광주광역시 북구 반룡로**번길 **-**, 승재고시원***호 (용봉동)
  • 강희영 / 광주광역시 광산구 수완로**번길 **, 폴라리스 ***호(수완동)
출원인 / 주소
  • 한국광기술원 / 광주광역시 북구 첨단벤처로***번길 * (월출동)
대리인 / 주소
  • 이은철; 이우영
심사청구여부 있음 (2020-08-20)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 기술은 테라헤르츠 센서 및 그 제어 방법이 개시된다. 본 기술에 따른 구현 예에 의하면, 적외선 광을 조사하는 저가의 블랙바디 소스 광원과 광속 단속기, 애퍼처, 및 테라헤르츠파 필터를 포함하는 저가 및 정렬 시간이 단축되는 광학부를 이용하여 측정된 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압으로부터 QCL 광원을 이용한 테라헤르츠 센서의 잡음등가전압을 추정함에 따라, 테라헤르츠 센서를 이용한 보드 측정 장치에 대한 설치 비용 및 관리 비용을 절감할 수 있고, 광학부의 정렬 시간을 단축함에 따라 테스트하고자 하는 보드의 물성 등을 신속하게 측

대표청구항

기 정해진 소정 파장의 적외선을 생성하는 블랙바디 소스 광원을 조사하는 광원부; 상기 광원부로부터 조사된 적외선 광을 기 정해진 쵸퍼 주파수에 따라 통과시키는 광학부; 보드에 조사된 상기 광학부의 소정 파장의 적외선 광량과 보드를 통과한 적외선 광량으로 보드의 물성을 측정하는 테라헤르츠 센서; 상기 테라헤르츠 센서의 조사된 적외선 광량 및 상기 보드를 통과한 적외선 광량을 검출하는 검출부; 및 상기 검출된 조사된 적외선 광량 및 보드를 통과한 적외선 광량을 분석하여 상기 테라헤르츠 센서의 정량적 평가를 수행하는 분석부를 포함하고,상

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 다중 접합 반도체의 공극 검사 장치 및 방법 | 김근주, 김재홍, 김정일, 전석기

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