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연합인증

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임프린팅용 몰드 및 임프린팅용 몰드의 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G03F-007/00
  • G03F-007/20
  • H01L-021/027
  • H01L-021/56
출원번호 10-2017-0141232 (2017-10-27)
공개번호 10-2019-0047387 (2019-05-08)
등록번호 10-2436152-0000 (2022-08-22)
DOI http://doi.org/10.8080/1020170141232
발명자 / 주소
  • 윤정환 / 대전광역시 유성구 문지로 *** LG화학기술연구원
  • 장성호 / 대전광역시 유성구 문지로 *** LG화학기술연구원
  • 신부건 / 대전광역시 유성구 문지로 *** LG화학기술연구원
  • 이현섭 / 대전광역시 유성구 문지로 *** LG화학기술연구원
  • 박정호 / 대전광역시 유성구 문지로 *** LG화학기술연구원
  • 허은규 / 대전광역시 유성구 문지로 *** LG화학기술연구원
  • 추소영 / 대전광역시 유성구 문지로 *** LG화학기술연구원
  • 박성민 / 대전광역시 유성구 문지로 *** LG화학기술연구원
출원인 / 주소
  • 주식회사 엘지화학 / 서울특별시 영등포구 여의대로 *** (여의도동)
대리인 / 주소
  • 특허법인 피씨알
심사청구여부 있음 (2020-08-26)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명의 일 실시상태는 일면에 격자 패턴 단위체를 포함하는 격자 패턴부를 포함하고, 상기 격자 패턴 단위체의 적어도 일면은 비정질 금속층을 포함하며, 상기 비정질 금속층의 두께에 의하여, 상기 격자 패턴부는 일측에서 타측 방향으로 점진적으로 듀티가 증가하는 것인 임프린팅용 몰드를 제공한다.

대표청구항

일면에 격자 패턴 단위체를 포함하는 격자 패턴부를 포함하고,상기 격자 패턴 단위체의 적어도 일면은 비정질 금속층을 포함하며,상기 비정질 금속층의 두께에 의하여, 상기 격자 패턴부는 일측에서 타측 방향으로 점진적으로 듀티가 증가하는 것이며,상기 듀티는 상기 격자 패턴 단위체의 폭의 값을 상기 격자 패턴 단위체의 주기로 나눈 값인 것인 임프린팅용 몰드.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 가변형 임프린트용 스탬프를 이용한 비대칭형 금속 또는 금속산화물 나노구조체 | 박형호, 허은진, 김신근, 이근우, 신현범, 성호근, 박경호, 강호관, 김희중
  2. [일본] MOLD FOR IMPRINTING AND MANUFACTURING METHOD THEREOF | FUKUGAMI NORIHITO, GAMO SHUSUKE
  3. [미국] Method for Imprinting and Erasing Amorphous Metal Alloys | Schroers, Jan, Kumar, Golden, Tang, Hongxing
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