[특허]식각 조성물, 실리콘 질화막의 식각 방법, 및 반도체 소자의 제조 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C09K-013/06 H01L-021/306 H01L-021/3213 H01L-021/768
출원번호	10-2017-0147532 (2017-11-07)
공개번호	10-2019-0051656 (2019-05-15)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020170147532
발명자 / 주소	한훈 / 경기 안양시 동안구 평촌동 귀인로 * 초원대림아파트 동 *호 배상원 / 경기도 수원시 팔달구 장다리로번길 * (인계동, 신반포아파트) *동 호 홍영택 / 경기도 화성시 동탄반석로 우미린 -* 박재완 / 세종특별자치시 시청대로 * **-(보람동, 호려울 마을 단지) 이진욱 / 세종특별자치시 마음로 -*(고운동, 가락마을 단지) 임정훈 / 대전광역시 대덕구 송촌로번길 , ***호 (송촌동, 공원주택)
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 삼성로 * (매탄동) 솔브레인 주식회사 / 경기도 성남시 분당구 판교로번길 * (삼평동)
대리인 / 주소	특허법인 고려
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

본 발명에 따르면, 식각 조성물, 실리콘 질화막의 식각 방법, 및 반도체 소자의 제조 방법이 제공된다. 식각 조성물은 인산; 암모늄계 화합물; 염산 및 폴리인산염계 화합물 중에서 적어도 하나; 및 실리콘 함유 화합물을 포함할 수 있다.

대표청구항 ▼

인산; 암모늄계 화합물; 염산 및 폴리인산염계 화합물 중에서 적어도 하나; 및아래의 화학식 2로 표시되는 실리콘 함유 화합물을 포함하는 식각 조성물. [화학식 2]화학식 2에서, R2는 수소, 탄소수 1 내지 10의 알킬기, 탄소수 1 내지 10의 아미노 알킬기, 탄소수 1 내지 10의 아미노 알콕시기, 및 탄소수 1 내지 10의 알콕시 아미노기 중에서 선택된 어느 하나이고, R3, R4, 및 R5는 각각 독립적으로 수소, 탄소수 1 내지 10의 알킬기, 탄소수 1 내지 10의 아미노 알킬기, 탄소수 1 내지 10의 아미노 알콕시기, 탄소수 1 내지 10의 알콕시 아미노기, 및 탄소수 1 내지 10의 알킬 치환 또는 비치환된 아미노기이고, R3, R4, 및 R5 중에서 적어도 하나는 탄소수 1 내지 10의 알콕시 아미노기, 및 탄소수 1 내지 10의 알킬 치환 또는 비치환된 아미노기이고, n은 2 또는 3이다.

내보내기 메뉴

내보내기 구분

파일저장
인쇄
메일전송

구성항목

기본정보
상세정보

관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC

저장형식

Text(ASCII format)
Excel format
PIAS분석(.xls)

메일정보

받는사람 (필수): @
보내는사람 (선택): @
제목
내용: KISTI 검색결과 이메일 서비스

안내

총 건의 자료가 검색되었습니다.

다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000)

검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다.

데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요)

다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다.
파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오.

Text(ASCII format)
Excel format

AI-Helper ※ AI-Helper는 을 사용합니다.

AI-Helper

안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

연합인증

식각 조성물, 실리콘 질화막의 식각 방법, 및 반도체 소자의 제조 방법 원문보기

초록

대표청구항 ▼

발명자의 다른 특허 :

연구과제 타임라인

이 특허에 인용된 특허 (2)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format