$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

봉지필름 형성용 전구체, 이를 이용한 봉지필름의 제조방법 및 이에 의해 형성된 봉지필름 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-016/40
  • C23C-016/34
  • C23C-016/455
출원번호 10-2018-0057473 (2018-05-18)
공개번호 10-2018-0127250 (2018-11-28)
우선권정보 대한민국(KR) 1020170061403 (2017-05-18)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180057473
발명자 / 주소
  • 정재선 / 대전광역시 유성구 배울*로 **, 대덕테크노밸리*단지푸르지오 ***동 ****호
  • 김현준 / 경상북도 김천시 대항면 대룡*길 ***
  • 신정식 / 대전광역시 유성구 죽동로 **, 천년나무아파트 ***동 ****호
  • 신진호 / 충청남도 부여군 임천면 구교로**번길 **-*
  • 김종문 / 세종특별자치시 도움*로 ***, 가재마을 *단지 ***동 ***호
  • 김민기 / 충청남도 공주시 흑수골길 **-*, 보리네하우스 ***호
  • 남지현 / 인천광역시 계양구 굴재방터길 *-*, 에스톤빌 *차 B동 ***호
출원인 / 주소
  • 솔브레인 주식회사 / 경기도 성남시 분당구 판교로***번길 ** (삼평동)
대리인 / 주소
  • 특허법인태평양
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

본 발명은 봉지필름 형성용 전구체, 이를 이용한 봉지필름의 제조방법 및 이에 의해 제조된 봉지필름을 제공한다.본 발명의 일 실시예에 따른 봉지필름 형성용 전구체는 100℃ 이하의 저온에서도 쉽게 증착이 가능하며, 증착 속도도 향상시킬 수 있다. 또한, 이를 이용하여 봉지필름을 제조하는 경우, 수분 투습도 및 물성 특성이 우수한 실리콘 함유 박막을 구현할 수 있다.

대표청구항

하기 화학식 1의 화합물을 포함하는 봉지필름 형성용 전구체:[화학식 1]상기 화학식 1에서,R1 내지 R4는 각각 독립적으로 수소(H) 또는 C1 내지 C10의 알킬(alkyl)기를 포함한다.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 디스플레이 디바이스를 위한 배리어 물질 | 리지웨이, 로버트 고르돈, 존슨, 앤드류 데이비드, 말리카르주난, 안누파마, 브르티스, 레이몬드 니콜라스, 레이, 신지안, 오'네일, 마크 레오나르드, 시아오, 만차오, 리, 지안헹, 사보, 마이클 티.
  2. [미국] COMPOSITION AND METHOD FOR LOW TEMPERATURE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF SILICON-CONTAINING FILMS INCLUDING SILICON CARBONITRIDE AND SILICON OXYCARBONITRIDE FILMS | Wang, Ziyun, Xu, Chongying, Hendrix, Bryan, Roeder, Jeffrey, Chen, Tianniu, Baum, Thomas H.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 봉지 구조체 및 그 제조 방법 | 박진성, 한주환, 이성현, 정석구
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로