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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0148553 (2017-11-09) | |
공개번호 | 10-2019-0052809 (2019-05-17) | |
등록번호 | 10-1982406-0000 (2019-05-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170148553 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-11-09) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 전극을 유전체 모세관 안에 배치한 넣고 이러한 하나의 DBD 플라즈마 전극 모듈 다수를 평행하게 배열하고, 각각의 DBD 플라즈마 전극 모듈에 내재된 전극에 전압을 인가하되, 상기와 같이 나란히 배열된 전극에 대해 교대로 교류 전원의 양단자를 각각 연결하여 모세관 안에 있는 전극들 사이에서 플라즈마 방전이 일어나게 하여 전체적으로는 일정 면적에서 플라즈마 방전이 일어나는, 다중평행 모세관 플라즈마 발생장치를 구성하고, 상기 다중평행 모세관 플라즈마 발생장치를 밀폐된 제1 챔버에 넣고 상기 제1 챔버에 가스 유입구(흡기 밸
유전체로 된 모세관 안에 넣어진 전극으로 구성된 전극 모듈;상기 전극 모듈 여러 개가 나란히 배열된 다중 평행 모세관 플라즈마 발생장치; 및상기 전극 모듈에 인가될 전력을 공급하는 전원;을 구비하고,상기 다중 평행 모세관 플라즈마 발생장치에 포함된 전극들에 대해 상기 전원의 단자 중 한쪽 극성 단자와 반대 극성 단자를 서로 인접한 전극들에 대해 교대로 연결하여 인접한 전극 모듈 사이에서 유전 장벽 방전 플라즈마가 발생 되게 한 다중 평행 모세관 플라즈마 발생장치가 배치되는 제1 챔버;를 구비하고,상기 제1 챔버에 산소, 공기, 또는
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