초록 ▼

본 발명은 머신러닝 알고리즘을 이용한 공정 이상 감지 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 등 공장 가동에 따른 각 공정 진행 중에 발생하는 이상을 수집된 데이터에 대하여 머신러닝 알고리즘을 적용하여 분석하고, 이에 대한 상황을 조기에 관리자에게 알려주는 시스템 및 그 수행 방법에 관한 것이다.본 발명에 의하면, 반도체 제조 공장 등 첨단 제조 공장의 공정 중에 발생하는 막대한 데이터를 실시간으로 수집하고 그와 같은 데이터에 대하여 머신러닝 알고리즘을 적용하여 분석함으로써 공정의 이상 발생을 조기에 감지하여

본 발명은 머신러닝 알고리즘을 이용한 공정 이상 감지 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 등 공장 가동에 따른 각 공정 진행 중에 발생하는 이상을 수집된 데이터에 대하여 머신러닝 알고리즘을 적용하여 분석하고, 이에 대한 상황을 조기에 관리자에게 알려주는 시스템 및 그 수행 방법에 관한 것이다.본 발명에 의하면, 반도체 제조 공장 등 첨단 제조 공장의 공정 중에 발생하는 막대한 데이터를 실시간으로 수집하고 그와 같은 데이터에 대하여 머신러닝 알고리즘을 적용하여 분석함으로써 공정의 이상 발생을 조기에 감지하여 알려줄 뿐만 아니라, 향후에 발생가능한 이상 상황에 대한 예측까지도 산출하여 제공할 수 있는, 머신러닝 알고리즘을 이용한 공정 이상 감지 시스템 및 그 방법을 제공한다.

대표청구항 ▼

머신러닝 알고리즘을 이용하여 공정 이상을 감지하는 시스템으로서,데이터 수집부에서 수집된 데이터를 이용하여패턴을 분석하기 위한 모델을 생성하여 이를 수집되는 데이터의 이상 상황 여부를 실시간으로 분석하는데 적용하는 머신러닝 알고리즘 적용부;머신러닝 알고리즘 규칙을 모델화하여 알고리즘 규칙 모델을 생성하고, 상기 알고리즘 규칙 모델을 적용하여 데이터 수집부로부터 전달되는 빅데이터에 대한 이상 상황 여부에 대한 분석을 실시하는 머신러닝 알고리즘 적용부;머신러닝 알고리즘 적용부로부터 수신한 분석정보를 저장하는 알람정보 데이터베이스;머신러닝

머신러닝 알고리즘을 이용하여 공정 이상을 감지하는 시스템으로서,데이터 수집부에서 수집된 데이터를 이용하여패턴을 분석하기 위한 모델을 생성하여 이를 수집되는 데이터의 이상 상황 여부를 실시간으로 분석하는데 적용하는 머신러닝 알고리즘 적용부;머신러닝 알고리즘 규칙을 모델화하여 알고리즘 규칙 모델을 생성하고, 상기 알고리즘 규칙 모델을 적용하여 데이터 수집부로부터 전달되는 빅데이터에 대한 이상 상황 여부에 대한 분석을 실시하는 머신러닝 알고리즘 적용부;머신러닝 알고리즘 적용부로부터 수신한 분석정보를 저장하는 알람정보 데이터베이스;머신러닝 알고리즘 적용부로부터 수신한 분석정보로부터, 경보(alarm) 또는 대처행위(acting) 정보를 레벨로 분류하여 이를 알람정보 데이터베이스에 저장하고 이를 상황 디스플레이부로 전달하는 알람정보 분류 및 전달부; 및알람정보 분류 및 전달부로부터 전달받은 최종적인 상황 분석 정보를 모니터 등을 통하여 디스플레이해주는 역할을 수행하는 상황 디스플레이부를 포함하는 머신러닝 알고리즘을 이용한 공정 이상 감지 시스템.