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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-7001259 (2017-01-16) | |
공개번호 | 10-2017-0023080 (2017-03-02) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/015,084 (2014-06-20) | |
국제출원번호 | PCT/US2015/036477 (2015-06-18) | |
국제공개번호 | WO 2015/195946 (2015-12-23) | |
번역문제출일자 | 2017-01-16 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020177001259 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
법적상태 | 거절 |
알루미늄 표면을 연마하는데 적합한 화학적 기계적 연마 (CMP) 조성물 및 방법이 기재되어 있다.상기 조성물은 음이온성 중합체로 코팅되고, 산성 또는 중성 pH 캐리어에 현탁된 알루미나 연마제 입자를 포함한다.일부 경우에, 연마 보조제, 예컨대 실리카, 카르복실산, 포스폰산 화합물, 또는 이들의 조합이 CMP 조성물에 첨가될 수 있다.기재된 CMP 조성물 및 방법은 비코팅된 알루미나 연마제를 사용한 CMP 방법에 비해, 연마 효율을 개선시키고 연마된 알루미늄 표면 상 표면 결함을 감소시킨다.
(a) 알루미나 입자의 표면 상에 음이온성 중합체를 포함하는 알루미나 연마제 입자; 및(b) 실리카 연마제, 연마 촉진제 화합물 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 연마 보조제를 함유하는 산성 또는 중성 pH 수성 캐리어를 포함하는 연마 조성물로 표면을 마모시키는 단계를 포함하며, 여기서 연마 촉진제 화합물은 유기산, 무기산 또는 이들의 조합인 알루미늄 표면의 연마 방법.
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