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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0183181 (2017-12-28) | |
공개번호 | 10-2019-0080620 (2019-07-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170183181 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 CMP용 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 연마입자는, 1차 입자 및 2차 입자를 포함하는 3차 입자를 포함하고, 상기 1차 입자 및 2차 입자의 평균 입경 : 3차 입자의 입경비는 1 : 3 내지 1 : 500이고, 상기 1차 입자 내지 상기 3차 입자는, 상기 CMP용 슬러리 조성물 중 0.1 내지 10.0 중량%인 것이다.
1차 입자 및 2차 입자를 포함하는, 3차 입자를 포함하고, 상기 1차 입자 및 2차 입자의 평균 입경 : 3차 입자의 입경비는 1 : 3 내지 1 : 500이고,상기 1차 입자 내지 상기 3차 입자는, 상기 CMP용 슬러리 조성물 중 0.1 내지 10.0 중량%인 것인,CMP용 슬러리 조성물.
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