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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0012343 (2018-01-31) | |
공개번호 | 10-2019-0092975 (2019-08-08) | |
등록번호 | 10-2579904-0000 (2023-09-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180012343 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-01-29) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
공정 관리 장치가 인공지능 모델을 이용하여 비전 검사(Vision inspection)를 관리하는 방법에 있어서, 제 1 객체가 통과한 제 1 제조 공정과 관련된 제 1 공정 데이터를 획득하는 단계; 인공지능 모델 및 제 1 공정 데이터를 이용하여, 제 1 객체의 전체 영역 중에서 집중 검사를 수행할 제 1 영역을 결정하는 단계; 및 결정된 제 1 영역에 결함이 존재하는지 검사하도록 제 1 비전 검사기를 제어하는 단계를 포함하는 방법이 개시된다.
공정 관리 장치가 인공지능 모델을 이용하여 비전 검사(Vision inspection)를 관리하는 방법에 있어서, 제 1 공정 장비에 의해 수행되는 제 1 객체에 대한 제 1 제조 공정과 관련된 제 1 공정 데이터를 획득하는 단계;상기 인공지능 모델에 상기 제 1 공정 데이터를 적용하여, 상기 제 1 객체의 전체 영역 중에서 상기 제 1 제조 공정에 대한 결함 발생 확률이 임계값보다 높은 제 1 영역을 결정(identify)하는 단계; 및상기 결정된 제 1 영역에 결함이 존재하는지 검사하도록 제 1 비전 검사기를 제어하는 단계를 포
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