주병권
/ 대전광역시 유성구 반석동로 **, ***동 ****호(반석동, 반석마을*단지아파트)
안주훈
/ 대전광역시 대덕구 계족산로 ***, ***동 ***호(송촌동, 선비마을*단지아파트)
출원인 / 주소
(주) 인텍플러스 / 대전광역시 유성구 테크노*로 *** (탑립동)
대리인 / 주소
특허법인 신지
심사청구여부
있음 (2018-02-06)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
등록
초록▼
본 발명은 반도체 소자 외관 검사장치에 관한 것이다.제1 비전 검사기는 로딩부로부터 이송되는 트레이에 수납된 각 반도체 소자의 제1 면을 검사한다.제2 비전 검사기는 트랜스퍼를 거쳐 상하 반전된 상태로 트레이에 수납된 각 반도체 소자의 제2 면을 검사한다.제1 픽커는 제2 비전 검사기를 거친 반도체 소자들을 해당 트레이로부터 행 단위로 복수 개씩 픽업해서 행 방향을 따라 제1 사이드 검사영역으로 이송한 후 해당 트레이로 복귀시킨다.제3 비전 검사기는 제1 사이드 검사영역으로 이송되는 각 반도체 소자의 제3 면 및 제4 면을 검사한다
본 발명은 반도체 소자 외관 검사장치에 관한 것이다.제1 비전 검사기는 로딩부로부터 이송되는 트레이에 수납된 각 반도체 소자의 제1 면을 검사한다.제2 비전 검사기는 트랜스퍼를 거쳐 상하 반전된 상태로 트레이에 수납된 각 반도체 소자의 제2 면을 검사한다.제1 픽커는 제2 비전 검사기를 거친 반도체 소자들을 해당 트레이로부터 행 단위로 복수 개씩 픽업해서 행 방향을 따라 제1 사이드 검사영역으로 이송한 후 해당 트레이로 복귀시킨다.제3 비전 검사기는 제1 사이드 검사영역으로 이송되는 각 반도체 소자의 제3 면 및 제4 면을 검사한다.제2 픽커는 제3 비전 검사기를 거친 반도체 소자들을 해당 트레이로부터 열 단위로 복수 개씩 픽업한 후 수직축을 중심으로 90도 회전시켜 행 방향을 따라 제2 사이드 검사영역으로 이송한 후 해당 트레이로 복귀시킨다.제4 비전 검사기는 제2 사이드 검사영역으로 이송되는 각 반도체 소자의 제5 면 및 제6 면을 검사한다.
대표청구항▼
본체;검사 수행될 반도체 소자들이 수납된 트레이를 적치하는 로딩부와, 빈 트레이를 적치하는 빈 트레이 공급부와, 불량품으로 분류된 반도체 소자들이 수납된 트레이를 적치하는 불량품 저장부와, 분류 과정에서 반도체 소자가 모두 배출되거나 불량품의 반도체 소자만 남은 트레이를 적치하는 트레이 저장부, 및 양품으로 분류된 반도체 소자들이 수납된 트레이를 적치하는 언로딩부를 구비하여, 상기 본체의 전방에 배치되는 트레이 적치대;상기 로딩부, 빈 트레이 공급부, 불량품 저장부, 트레이 저장부, 언로딩부에 각각 연결되어 해당 트레이를 이송하는
본체;검사 수행될 반도체 소자들이 수납된 트레이를 적치하는 로딩부와, 빈 트레이를 적치하는 빈 트레이 공급부와, 불량품으로 분류된 반도체 소자들이 수납된 트레이를 적치하는 불량품 저장부와, 분류 과정에서 반도체 소자가 모두 배출되거나 불량품의 반도체 소자만 남은 트레이를 적치하는 트레이 저장부, 및 양품으로 분류된 반도체 소자들이 수납된 트레이를 적치하는 언로딩부를 구비하여, 상기 본체의 전방에 배치되는 트레이 적치대;상기 로딩부, 빈 트레이 공급부, 불량품 저장부, 트레이 저장부, 언로딩부에 각각 연결되어 해당 트레이를 이송하는 제1,2,3,4,5 트레이 캐리어부;상기 로딩부로부터 이송되는 트레이에 수납된 각 반도체 소자의 제1 면을 검사하는 제1 비전 검사기;상기 본체의 후방 상측에서 상기 제1 내지 제5 트레이 캐리어부 간에 왕복 가능하게 설치되며, 상기 제1 비전 검사기를 거친 반도체 소자들을 상하 반전시켜 빈 트레이로 옮기는 트랜스퍼;상기 트랜스퍼를 거쳐 상하 반전된 상태로 트레이에 수납된 각 반도체 소자의 제2 면을 검사하는 제2 비전 검사기;상기 본체의 상측에서 좌우 방향과 나란한 행 방향으로 왕복하며, 상기 제2 비전 검사기를 거친 반도체 소자들을 해당 트레이로부터 행 단위로 복수 개씩 픽업해서 행 방향을 따라 제1 사이드 검사영역으로 이송한 후 해당 트레이로 복귀시키는 제1 픽커;상기 제1 픽커에 의해 픽업된 상태로 상기 제1 사이드 검사영역으로 이송되는 각 반도체 소자의 제3 면 및 제4 면을 검사하는 제3 비전 검사기;상기 본체의 상측에서 좌우 방향과 나란한 행 방향으로 왕복하며, 상기 제3 비전 검사기를 거친 반도체 소자들을 해당 트레이로부터 열 단위로 복수 개씩 픽업한 후 수직축을 중심으로 90도 회전시켜 행 방향을 따라 제2 사이드 검사영역으로 이송한 후 해당 트레이로 복귀시키는 제2 픽커;상기 제2 픽커에 의해 픽업된 상태로 상기 제2 사이드 검사영역으로 이송되는 각 반도체 소자의 제5 면 및 제6 면을 검사하는 제4 비전 검사기; 및상기 제2 픽커와 연계하여, 검사 완료된 반도체 소자들을 양품과 불량품으로 분류해서 해당 트레이에 수납하는 소팅부;를 포함하며,상기 제1 픽커는, 행 방향을 따라 1줄로 배열되어 공압 공급수단에 의해 반도체 소자들을 각각 흡탈착하는 복수의 노즐들을 구비하는 노즐 조립체와, 상기 본체의 상측에 고정된 칼럼에 행 방향으로 슬라이드 가능하게 지지된 상태로 리니어 액추에이터에 의해 수평 왕복함에 따라 해당 노즐 조립체를 수평 왕복시키는 픽커 베이스와, 해당 노즐 조립체를 해당 픽커 베이스에 대해 승강 동작시키는 노즐 조립체 승강기구를 포함하며;상기 제3 비전 검사기는, 촬상 부위들끼리 마주하도록 제1 사이드 검사영역에 열 방향으로 간격을 두고 배열되어 반도체 소자의 제3 면 및 제4 면을 각각 검사하는 한 쌍의 카메라들과, 해당 카메라들을 열 방향으로 각각 선형 왕복시키는 카메라 이동기구들을 포함하며;상기 제2 픽커는, 행 방향을 따라 1줄로 배열되어 공압 공급수단에 의해 반도체 소자들을 각각 흡탈착하는 복수의 노즐들을 구비하는 노즐 조립체와, 상기 본체의 상측에 고정된 칼럼에 행 방향으로 슬라이드 가능하게 지지된 상태로 리니어 액추에이터에 의해 수평 왕복함에 따라 해당 노즐 조립체를 수평 왕복시키는 픽커 베이스와, 해당 노즐 조립체를 해당 픽커 베이스에 대해 승강 동작시키는 노즐 조립체 승강기구와, 해당 노즐 조립체를 90도 범위로 정역 회전시키는 픽커용 로테이터를 포함하며;상기 제4 비전 검사기는, 촬상 부위들끼리 마주하도록 제2 사이드 검사영역에 열 방향으로 간격을 두고 배열되어 반도체 소자의 제5 면 및 제6 면을 각각 검사하는 한 쌍의 카메라들과, 해당 카메라들을 열 방향으로 각각 선형 왕복시키는 카메라 이동기구들을 포함하며;상기 트랜스퍼는,상기 본체 상측의 칼럼에 액추에이터에 의해 좌우 방향으로 수평 왕복하며 승강할 수 있게 설치되는 트랜스퍼 몸체와,한 쌍의 죠들이 좁아지거나 벌어짐에 따라 트레이를 파지 또는 해지하도록 구성되어 상기 트랜스퍼 몸체에 승강 가능하게 설치되는 그리퍼와,서로 간에 좁아지거나 벌어짐에 따라 하나의 트레이 또는 적층된 2개의 트레이들을 고정하거나 해제하되 각각 한 쌍의 클램핑 부재들이 벌어지거나 좁아짐에 따라 트레이를 출입시키는 상,하측 클램프와,상기 상,하측 클램프를 함께 회전시켜 상하 반전시킴에 따라 상기 상,하측 클램프 사이의 트레이를 상하 반전시키는 클램프용 로테이터를 포함하여, 상기 제1 비전 검사기를 거친 반도체 소자들이 수납된 트레이의 상부에 빈 트레이를 상하 반전시켜 적층한 후 적층 상태로 상하 반전시킴에 따라 상하 반전된 반도체 소자들을 빈 트레이로 옮기는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 외관 검사장치.
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