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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 남경태 |
참여연구자 | 정순종 , 전재호 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900003664 |
과제고유번호 | 1711077494 |
사업명 | 국가과학기술연구회연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2019-07-13 |
키워드 | 반도체 검사장비.웨이퍼.멀티 프로빙.얼라이너.저잡음.이송로봇.Semiconductor Inspection Equipment.Wafer.MultiProbing.Aligner.Low-Noise.Transport Robot. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201900003664 |
연구목표
- 일체형 카트리지 시제품 제작 및 성능평가
- 카트리지의 고속 멀티 챔버 이송을 위한 로봇 시스템 상세설계
- 고속 멀티 프로빙 웨이퍼 검사 시스템 상세설계
- 피에조 소자 기반 틸팅 모듈 개발
- 테스트 챔버 제작
- 카트리지 지지부 및 전기 제어부 제작
- 고변위용 신조성 압전 세라믹스 개발
- Low-Noise Chuck 개발
연구내용
* Test Throughput(처리량)
- 카트리지의 고속 멀티 챔버 이송을 위한 로봇 시스템 상세설계 : 카트리지
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