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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2018-0017811 (2018-02-13) | |
| 공개번호 | 10-2019-0097865 (2019-08-21) | |
| 등록번호 | 10-2065347-0000 (2020-01-07) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020180017811 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2018-02-13) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명에 따른 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치는, 일방으로 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되도록 일 측이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부; 상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되는 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부; 상기 상부 하우징의 일 측 개방 부위에서부터 상기 조사부를 둘러싸며 연장되되 연장 끝단은 외부에 마련된 진
일방으로 연장된 조사부를 포함하는 VUV 램프와, 내부에 상기 VUV 램프를 수용하되 상기 조사부가 외부로 돌출되도록 일 측이 개방된 상부 하우징을 포함하는 헤드부;상단 부위가 상기 상부 하우징의 하단 부위와 결합되는 하부 하우징과, 상기 하부 하우징의 일 측부에 배치되되 상기 VUV 램프와 외부에 마련된 전압 발생 장치를 전기적으로 연결하는 커넥터를 포함하는 소켓부;상기 상부 하우징의 일 측 개방 부위에서부터 상기 조사부를 둘러싸며 연장되되 연장 끝단은 외부에 마련된 진공 챔버와 결합되는 챔버 체결부;를 포함하며,상기 헤드부는,일
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