초록

본 발명은 진공자외선 광원 성능 감지 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 본 발명에 따른 진공자외선 광원 성능 감지 시스템은, 조사창을 통해 진공자외선을 조사하는 진공자외선 광원부, 검출창을 통해 입사되는 진공자외선을 검출하고 검출한 진공자외선에 대한 응답 전류로 변환하여 송출하는 광검출기, 및 상기 광검출기로부터 상기 응답 전류를 수신하여 출력 밀도를 측정하고 표시하는 모니터링부를 포함한다.

대표청구항

조사창을 통해 진공자외선을 조사하는 진공자외선 광원부;검출창을 통해 입사되는 진공자외선을 검출하고 검출한 진공자외선에 대한 응답 전류로 변환하여 송출하는 광검출기; 및상기 광검출기로부터 상기 응답 전류를 수신하여 출력 밀도를 측정하고 표시하는 모니터링부;를 포함하는 진공자외선 광원 성능 감지 시스템.

조사창을 통해 진공자외선을 조사하는 진공자외선 광원부;검출창을 통해 입사되는 진공자외선을 검출하고 검출한 진공자외선에 대한 응답 전류로 변환하여 송출하는 광검출기; 및상기 광검출기로부터 상기 응답 전류를 수신하여 출력 밀도를 측정하고 표시하는 모니터링부;를 포함하는 진공자외선 광원 성능 감지 시스템.