초록 ▼

본 발명은 반도체 제조장비로부터 벨로우즈를 통해 하방으로 연결되는 다수의 진공배관이 통과하는 바닥면에 설치되고, 상기 진공배관의 주위에 위치할 수 있도록 상하 및 일측부가 개방되는 구조를 가지는 지지대; 상기 지지대로부터 상방에 위치하는 고정대; 상기 고정대가 상기 지지대로부터 승강되도록 하는 승강부; 및 상기 다수의 진공배관 중에서 하측의 진공배관으로부터 분리되어 상기 벨로우즈에 연결되는 일부의 진공배관이 상기 고정대에 고정되도록 함으로써, 상기 승강부에 의해 상기 일부의 진공배관이 상기 고정대와 함께 승강하도록 하는 고정부;를

본 발명은 반도체 제조장비로부터 벨로우즈를 통해 하방으로 연결되는 다수의 진공배관이 통과하는 바닥면에 설치되고, 상기 진공배관의 주위에 위치할 수 있도록 상하 및 일측부가 개방되는 구조를 가지는 지지대; 상기 지지대로부터 상방에 위치하는 고정대; 상기 고정대가 상기 지지대로부터 승강되도록 하는 승강부; 및 상기 다수의 진공배관 중에서 하측의 진공배관으로부터 분리되어 상기 벨로우즈에 연결되는 일부의 진공배관이 상기 고정대에 고정되도록 함으로써, 상기 승강부에 의해 상기 일부의 진공배관이 상기 고정대와 함께 승강하도록 하는 고정부;를 포함하도록 한 진공배관 승강 유지장치 및 이를 이용한 진공배관 리크 검사방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 반도체 제조장비에 벨로우즈를 통해서 하방으로 다수로 연결되는 진공배관 중 일부를 하측의 진공배관으로부터 분리된 상태에서 상승시켜서 고정되도록 함으로써, 반도체 제조장비로부터 벨로우즈에 의해 다수로 연결된 진공배관에 대한 리크(leak) 검사에 소요되는 시간, 노력 및 인원을 줄이도록 할 수 있고, 반도체 제조설비에 대한 리크 검사에 대한 용이성과 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 이로 인해 반도체 제조설비의 가동률을 높이도록 할 수 있다.

대표청구항 ▼

반도체 제조장비로부터 벨로우즈를 통해 하방으로 연결되는 다수의 진공배관이 통과하는 바닥면에 설치되고, 상기 진공배관의 주위에 위치할 수 있도록 상하 및 일측부가 개방되는 구조를 가지는 지지대;상기 지지대로부터 상방에 위치하는 고정대;상기 고정대가 상기 지지대로부터 승강되도록 하는 승강부; 및상기 다수의 진공배관 중에서 하측의 진공배관으로부터 분리되어 상기 벨로우즈에 연결되는 일부의 진공배관이 상기 고정대에 고정되도록 함으로써, 상기 승강부에 의해 상기 일부의 진공배관이 상기 고정대와 함께 승강하도록 하는 고정부;를 포함하고,상기 고

반도체 제조장비로부터 벨로우즈를 통해 하방으로 연결되는 다수의 진공배관이 통과하는 바닥면에 설치되고, 상기 진공배관의 주위에 위치할 수 있도록 상하 및 일측부가 개방되는 구조를 가지는 지지대;상기 지지대로부터 상방에 위치하는 고정대;상기 고정대가 상기 지지대로부터 승강되도록 하는 승강부; 및상기 다수의 진공배관 중에서 하측의 진공배관으로부터 분리되어 상기 벨로우즈에 연결되는 일부의 진공배관이 상기 고정대에 고정되도록 함으로써, 상기 승강부에 의해 상기 일부의 진공배관이 상기 고정대와 함께 승강하도록 하는 고정부;를 포함하고,상기 고정부는,상기 진공배관을 감싸서 양단의 고정단이 상기 고정대에 고정볼트로 각각 고정되는 U자 밴드로 이루어져서 상기 고정대에 상하 다수로 마련되고,상기 U자 밴드의 조임량을 가변시키는 조임량가변부를 더 포함하고,상기 조임량가변부는,상기 고정대에 전후로 관통하여 수평되게 서로 이격되도록 형성되는 한 쌍의 슬라이딩홀;상기 슬라이딩홀 각각에 전후로 슬라이딩 가능하게 결합되기 위한 슬라이딩결합돌기가 각각 마련되고, 상기 슬라이딩결합돌기 각각에 상기 고정단이 고정볼트로 각각 고정되며, 양단에 회전지지홈이 형성되는 슬라이더;상기 회전지지홈 각각에 연결되도록 상기 고정대에 수평되게 형성되고, 내주면에 암사나부가 형성되는 암나사관통홀; 및 상기 암나사관통홀 각각에 나사 결합되어 상기 회전지지홈에 끝단이 삽입되어 회전 가능하게 지지되고, 회전에 의해 상기 슬라이더를 가압하여 이동시킴으로써 상기 U자 밴드에서 상기 고정대로부터 돌출되는 부분의 원호 크기를 조절하는 조절볼트;를 포함하는, 진공배관 승강 유지장치.