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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2018-0028109 (2018-03-09) | |
| 공개번호 | 10-2019-0106517 (2019-09-18) | |
| 등록번호 | 10-2088356-0000 (2020-03-06) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020180028109 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2018-03-09) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 박막 증착 장치 및 박막 증착 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착 대상물에 박막을 증착하기 위한 박막 증착 장치 및 박막 증착 방법에 관한 것이다.본 발명의 실시 예에 따른 박막 증착 장치는, 자성층을 가지는 점착 시트를 포함하는 증착 대상물에 박막을 증착하기 위한 증착 물질을 공급하는 증착 물질 공급부; 및 상기 증착 물질 공급부의 하부에 배치되어, 상기 증착 대상물을 안착시키기 위한 서셉터;를 포함하고, 상기 서셉터는, 상기 증착 대상물을 지지하는 스테이지; 상기 스테이지의 내부에 형성되어, 상기 증착 대상물
자성층을 가지는 점착 시트를 포함하는 증착 대상물에 박막을 증착하기 위한 증착 물질을 공급하는 증착 물질 공급부; 및상기 증착 물질 공급부의 하부에 배치되어, 상기 증착 대상물을 안착시키기 위한 서셉터;를 포함하고,상기 서셉터는,상기 증착 대상물을 지지하는 스테이지;상기 스테이지의 내부에 형성되어, 상기 증착 대상물을 냉각시키기 위한 냉매의 유동 경로를 제공하는 냉각 유로; 및상기 스테이지에 설치되고, 상기 스테이지를 따라 배열되는 복수 개의 단위 자석을 포함하는 자석체층;을 포함하고,상기 스테이지는 중공형의 내부 공간을 가지며,상
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