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연합인증

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펄스형 캐소드 아크 퇴적 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01J-037/32
  • C23C-014/32
  • H01J-037/34
  • H05H-001/52
출원번호 10-2021-7030416 (2021-09-23)
공개번호 10-2021-0130775 (2021-11-01)
우선권정보 미국(US) 62/811,641 (2019-02-28)
국제출원번호 PCT/EP2020/000040 (2020-02-10)
국제공개번호 WO 2020/173598 (2020-09-03)
번역문제출일자 2021-09-23
DOI http://doi.org/10.8080/1020217030416
발명자 / 주소
  • 콜레마이넨 쥬카 / Marjaranta *A, FI-***** Espoo, Finland
출원인 / 주소
  • 외를리콘 서피스 솔루션즈 아게, 페피콘 / 스위스 **** 페피콘 쿠어슈트라세 ***
대리인 / 주소
  • 유미특허법인
법적상태 공개

초록 ▼

물품 상에 재료를 캐소드 아크 퇴적하기 위한 어셈블리. 이 어셈블리는 코팅될 물품을 수용하기 위한 체임버 및 회전 타겟을 포함한다. 회전가능한 타겟은 플라즈마 재료가 분출되는 표면을 갖는다. 애노드 링이 회전가능한 타겟의 표면으로부터 제 1 거리에 배치된다. 애노드 링은 회전가능한 타겟의 회전 축선에 평행한 중심 축선을 구비한 개구를 가지며, 중심 축선은 회전 축선으로부터 제 2 거리만큼 오프셋되어 있다. 스파크 장치는 회전가능한 타겟의 표면 상에 아크를 생성하기 위해 체임버 내에 배치된다. 이 어셈블리는 타겟의 표면으로부터 분출된

대표청구항 ▼

물품 상에 재료의 캐소드 아크 퇴적을 위한 어셈블리로서,상기 어셈블리는:코팅될 물품을 수용하기 위한 체임버 - 상기 체임버는 대기압 미만의 압력까지 배기됨 -;상기 체임버 내에 배치된 회전가능한 타겟 - 상기 회전가능한 타겟은 플라즈마 재료가 분출되는 표면 및 회전 축선을 가짐 -;상기 체임버 내에 배치되고, 상기 회전가능한 타겟의 표면으로부터 제 1 거리에 배치되는 애노드 링 - 상기 애노드 링은 상기 애노드 링을 통해 연장하는 개구를 가지며, 상기 개구의 중심 축선은 상기 회전가능한 타겟의 회전 축선에 평행하게 배치되고 상기 회

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