초록

본 발명은 폴리이미드 재질의 처킹부 하측에 PE Foam 재질의 쿠션부가 구비되어 완충력과 복원력이 우수하여 기판의 파손을 방지할 수 있는 완충력이 우수한 정전척에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 완충력이 우수한 정전척은 정전기력으로 기판을 지지하는 처킹부; 상기 처킹부 하부에 배치되어 상기 처킹부를 지지하는 베이스 플레이트; 플라스틱 폼 계열의 소재로 이루어지며, 상기 처킹부와 베이스 플레이트 사이에 구비되어 상기 처킹부에 지지되는 기판의 파손을 방지하는 쿠션부;를 포함한다.

대표청구항

정전기력으로 기판을 지지하는 처킹부;상기 처킹부 하부에 배치되어 상기 처킹부를 지지하는 베이스 플레이트; 0.1 ~ 1mm의 두께를 가지는 PE Foam 재질로 이루어지며, 상기 처킹부와 베이스 플레이트 사이에 구비되어 상기 처킹부에 지지되는 기판의 파손을 방지하는 쿠션부;를 포함하며, 상기 쿠션부는, 변형률이 25%일 때 압축 강도가 0.1 ~ 3 kgf/cm2인 것을 특징으로 하는 완충력이 우수한 정전척.

정전기력으로 기판을 지지하는 처킹부;상기 처킹부 하부에 배치되어 상기 처킹부를 지지하는 베이스 플레이트; 0.1 ~ 1mm의 두께를 가지는 PE Foam 재질로 이루어지며, 상기 처킹부와 베이스 플레이트 사이에 구비되어 상기 처킹부에 지지되는 기판의 파손을 방지하는 쿠션부;를 포함하며, 상기 쿠션부는, 변형률이 25%일 때 압축 강도가 0.1 ~ 3 kgf/cm2인 것을 특징으로 하는 완충력이 우수한 정전척.