초록

본 발명은 상부 절연층 상면에 유무기 복합 재질의 보호 코팅층이 구비되어 절연층의 파손을 방지하고 용이한 리페어가 가능한 보호 코팅층을 가지는 정전척에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 보호 코팅층을 가지는 정전척은, 베이스층; 상기 베이스층 상에 형성되는 하부 절연층; 상기 하부 절연층 상에 패턴으로 형성되는 전극층; 상기 전극층 상에 형성되는 상부 절연층; 상기 상부 절연층의 상면 전면에 걸쳐서 형성되는 보호 코팅층;을 포함한다.

대표청구항 ▼

베이스층;상기 베이스층 상에 형성되는 하부 절연층;상기 하부 절연층 상에 패턴으로 형성되는 전극층;상기 전극층 상에 형성되는 상부 절연층;상기 상부 절연층의 상면 전면에 걸쳐서 100 ~ 500㎛의 두께로 형성되며, 레진, 경화제 및 무기 화합물을 포함하는 보호 코팅층;을 포함하며, 상기 무기 화합물은, SiC, B4C, AlC, TiC, Si3N4, AlON, TiN, AlN, TiB2, Al2O3, MgO, SiO2, Y2O3, ZrO2, CeO2, TiO2, BN, YAG, AlF3 로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는

베이스층;상기 베이스층 상에 형성되는 하부 절연층;상기 하부 절연층 상에 패턴으로 형성되는 전극층;상기 전극층 상에 형성되는 상부 절연층;상기 상부 절연층의 상면 전면에 걸쳐서 100 ~ 500㎛의 두께로 형성되며, 레진, 경화제 및 무기 화합물을 포함하는 보호 코팅층;을 포함하며, 상기 무기 화합물은, SiC, B4C, AlC, TiC, Si3N4, AlON, TiN, AlN, TiB2, Al2O3, MgO, SiO2, Y2O3, ZrO2, CeO2, TiO2, BN, YAG, AlF3 로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물인 것을 특징으로 하는 보호 코팅층을 가지는 정전척.