초록 ▼

일실시예는 반도체의 화학적 기계적 평탄화 공정에 사용되는 연마패드 제조용 우레탄계 프리폴리머, 다공성 폴리우레탄 연마패드 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 상기 우레탄계 프리폴리머는 저장 안정성이 우수할 뿐만 아니라, 자체 내에 관능기를 가져 폴리우레탄 연마패드 제조시 원료혼합물의 반응속도(혼합물이 고상화되는 시간, 겔화 시간)를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 우레탄계 프리폴리머를 사용하면, 촉매를 사용하지 않고도 원하는 크기의 입경을 가지면서도 상하부 간의 편차가 적은 포어를 갖는 다공성 폴리우레탄 연마패드를 간편하게 제조할

일실시예는 반도체의 화학적 기계적 평탄화 공정에 사용되는 연마패드 제조용 우레탄계 프리폴리머, 다공성 폴리우레탄 연마패드 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 상기 우레탄계 프리폴리머는 저장 안정성이 우수할 뿐만 아니라, 자체 내에 관능기를 가져 폴리우레탄 연마패드 제조시 원료혼합물의 반응속도(혼합물이 고상화되는 시간, 겔화 시간)를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 우레탄계 프리폴리머를 사용하면, 촉매를 사용하지 않고도 원하는 크기의 입경을 가지면서도 상하부 간의 편차가 적은 포어를 갖는 다공성 폴리우레탄 연마패드를 간편하게 제조할 수 있다.

대표청구항 ▼

우레탄계 프리폴리머와 경화제의 혼합 시에 불활성 가스를 투입하여 포어(pore)들을 형성하면서 성형하는 것을 포함하는 다공성 폴리우레탄 연마패드의 제조방법으로서,상기 우레탄계 프리폴리머가 이소시아네이트 화합물, 폴리올, 및 카르복실기를 갖는 반응속도 조절제를 반응시켜 얻어지고, 7 내지 11 중량%의 이소시아네이트 말단기 함량(NCO%)를 갖고, 70 ℃에서 15 시간 동안 유지 후 1 내지 30 %의 점도변화율을 갖고,상기 포어들이 20 내지 40 ㎛의 평균 입경을 갖고,상기 성형이 최종 제조되는 다공성 폴리우레탄 연마패드의 두께

우레탄계 프리폴리머와 경화제의 혼합 시에 불활성 가스를 투입하여 포어(pore)들을 형성하면서 성형하는 것을 포함하는 다공성 폴리우레탄 연마패드의 제조방법으로서,상기 우레탄계 프리폴리머가 이소시아네이트 화합물, 폴리올, 및 카르복실기를 갖는 반응속도 조절제를 반응시켜 얻어지고, 7 내지 11 중량%의 이소시아네이트 말단기 함량(NCO%)를 갖고, 70 ℃에서 15 시간 동안 유지 후 1 내지 30 %의 점도변화율을 갖고,상기 포어들이 20 내지 40 ㎛의 평균 입경을 갖고,상기 성형이 최종 제조되는 다공성 폴리우레탄 연마패드의 두께의 1.2배 내지 2배에 해당하는 높이를 가지는 몰드를 이용하여 수행되고,상기 다공성 폴리우레탄 연마패드가 1 내지 5 mm의 두께를 갖고, 연마패드 총 부피를 기준으로 상기 포어들을 30 내지 70 부피%로 포함하고, 상기 불활성 가스가 상기 우레탄계 프리폴리머와 경화제의 합계 부피의 20 내지 40%에 해당하는 부피로 투입되는, 다공성 폴리우레탄 연마패드의 제조방법.