[특허]고감도 고신뢰성 압력센서의 제조방법

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[한국특허] 고감도 고신뢰성 압력센서의 제조방법
Fabrication method of pressure sensors with high sensitivity and reliability 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G01L-009/00 B81C-001/00
출원번호	10-2018-0044424 (2018-04-17)
공개번호	10-2019-0120993 (2019-10-25)
등록번호	10-2063928-0000 (2019-12-30)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180044424
발명자 / 주소	최경근 / 경상북도 포항시 남구 지곡로 *, 동 **호
출원인 / 주소	포항공과대학교 산학협력단 / 경상북도 포항시 남구 청암로 ** (지곡동)
대리인 / 주소	김남식; 김한; 이인행
심사청구여부	있음 (2018-04-17)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명의 일 관점에 따르면, 고감도 고신뢰성 압력센서의 제조방법이 제공된다. 상기 고감도 고신뢰성 압력센서의 제조방법은 상기 기판의 전면 상에 멤브레인(membrane)을 형성하는 단계; 상기 기판의 후면의 적어도 일부를 제거함으로써 상기 멤브레인을 외부로 노출시키는 단계; 및 상기 멤브레인의 노출된 면 상에 탄소박막을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다.

대표청구항 ▼

기판의 전면 상에 멤브레인(membrane)을 형성하는 단계;상기 기판의 후면의 적어도 일부를 제거함으로써 상기 멤브레인을 외부로 노출시키는 단계; 및상기 멤브레인의 노출된 면 상에 탄소박막을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 탄소박막은 비정질(amorphous) 탄소막으로서, 비정질 흑연(graphite)을 포함하며,상기 탄소박막을 형성하는 단계는,흑연(graphite) 타겟을 사용하여 스퍼터링 방식으로 증착하되, 섀도 마스크(shadow-cover mask)를 상기 기판의 후면에 부착한 후 상기 멤브레인 위에만 상기 비정질 탄소막

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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