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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0047434 (2018-04-24) | |
공개번호 | 10-2019-0123569 (2019-11-01) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180047434 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-04-24) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 화학기상증착기에 구비되어 진공상태에서 증착공정을 수행하는 진공챔버에 관한 것으로써,상기 진공챔버(1)가 전방부재(11)와 후방부재(12)와 좌측부재(13)와 우측부재(14)가 상호 용접을 통해 결합되어 공간부를 형성하는 몸체부(10)와; 상기 몸체부(10)의 상부면에 억지끼움식으로 결합되는 천정부(20); 및 상기 몸체부(10)의 바닥면에 억지끼움식으로 결합되는 바닥부(30)를 포함함으로써,상기 진공챔버를 통가공이 아닌 분할가공으로 제조함으로써 상기 진공챔버의 부분적인 교체 및 구조변경이 용이하고, 상기 진공챔버의 무게
평판디스플레이용 화학기상증착기에 구비되어 유리기판의 증착을 수행하는 진공챔버를 제조하기 위한 용접방식을 적용한 평면디스플레이용 화학기상증착기의 알루미늄 진공챔버로써,상기 진공챔버는,전방부재(11)와 후방부재(12)와 좌측부재(13)와 우측부재(14)가 상호 접합되어 공간부를 형성하는 몸체부(10)와;상기 몸체부(10)의 상부면에 억지끼움식으로 결합되는 천정부(20); 및 상기 몸체부(10)의 바닥면에 억지끼움식으로 결합되는 바닥부(30);를 포함하고,상기 몸체부(10)와 상기 천정부(20)와 상기 바닥부(30)가 알루미늄 소재 또는
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