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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0055463 (2018-05-15) | |
공개번호 | 10-2019-0130830 (2019-11-25) | |
등록번호 | 10-2152412-0000 (2020-08-31) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180055463 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-05-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 본 발명의 목적은 경화공정(curing)에서 발생하는 휘발성유기화합물(VOC)을 산화 및 제거하고, 동시에 경화공정에서 발생하는 입자상 물질들을 제거하는 휘발성유기화합물과 입자상 물질을 제거하는 경화장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 휘발성유기화합물과 입자상 물질을 제거하는 경화장치는, 제공되는 반도체 패키지를 수용하여 상기 반도체 패키지의 경화공정(curing)을 수행하는 챔버, 상기 챔버의 일측에 구비되어 순환되는 분위기 가스를 가열하는 히터, 및 상기 히터의 일측에 구비되어 상기 경화공정 중에 상기 챔버
제공되는 반도체 패키지를 수용하여 상기 반도체 패키지의 경화공정(curing)을 수행하는 챔버;상기 챔버의 일측에 구비되어 순환되는 분위기 가스를 가열하는 히터,상기 히터의 일측에 구비되어 상기 경화공정 중에 상기 챔버 내에서 발생되는 휘발성유기화합물을 산화 제거하는 산화 촉매; 및상기 산화 촉매의 후방 및 전방 중 일측에 설치되어, 상기 경화공정 중에 상기 반도체 패키지로부터 발생되는 입자상 물질을 필터링 하는 필터 및 집진기 중 하나'를 포함하며,상기 챔버는상기 반도체 패키지를 내장하는 제1공간,상기 제1공간의 일측에서 상기 히
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