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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0057473 (2018-05-18) | |
공개번호 | 10-2018-0127250 (2018-11-28) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020170061403 (2017-05-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180057473 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 봉지필름 형성용 전구체, 이를 이용한 봉지필름의 제조방법 및 이에 의해 제조된 봉지필름을 제공한다.본 발명의 일 실시예에 따른 봉지필름 형성용 전구체는 100℃ 이하의 저온에서도 쉽게 증착이 가능하며, 증착 속도도 향상시킬 수 있다. 또한, 이를 이용하여 봉지필름을 제조하는 경우, 수분 투습도 및 물성 특성이 우수한 실리콘 함유 박막을 구현할 수 있다.
하기 화학식 1의 화합물을 포함하는 봉지필름 형성용 전구체:[화학식 1]상기 화학식 1에서,R1 내지 R4는 각각 독립적으로 수소(H) 또는 C1 내지 C10의 알킬(alkyl)기를 포함한다.
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