초록 ▼

본 발명은 디스플레이용 대면적 글라스의 CMP 장치의 상정반에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스의 연마장치를 구성함에 있어서, 하정반에 고정되어 회전되는 디스플레이용 글라스 상면에서, 디스플레이용 글라스와 동일한 방향으로 회전되면서 디스플레이용 글라스 상면의 이물질 및 미세돌기를 연마작업하되, 연마작업시 디스플레이용 글라스와 접촉되는 연마패드를 향해 균일적으로 연마제 슬러리를 공급하면서 회전되는 연마기술을 통해, 더욱 효율적이고 균일도가 향상되는 연마작업이 가능토록 한 디스플레이용 대면적 글라스의

본 발명은 디스플레이용 대면적 글라스의 CMP 장치의 상정반에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스의 연마장치를 구성함에 있어서, 하정반에 고정되어 회전되는 디스플레이용 글라스 상면에서, 디스플레이용 글라스와 동일한 방향으로 회전되면서 디스플레이용 글라스 상면의 이물질 및 미세돌기를 연마작업하되, 연마작업시 디스플레이용 글라스와 접촉되는 연마패드를 향해 균일적으로 연마제 슬러리를 공급하면서 회전되는 연마기술을 통해, 더욱 효율적이고 균일도가 향상되는 연마작업이 가능토록 한 디스플레이용 대면적 글라스의 CMP 장치의 상정반에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

흡입패드(21)를 저면에 구비하는 제 1트랜스퍼(20)에 최외각 테두리부분이 접촉된 상태로, 회전되는 하정반(100)으로 옮겨져 위치고정되어 회전되는, 사전설정 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스(10)의 상면을 연마하는 것으로, 상기 디스플레이용 글라스(10)의 상면에 대응위치되어, 상기 하정반(100)과 동반회전되는 디스플레이용 글라스(10)의 회전방향과 동일하게 회전가능하게 설치되는 탈착형 헤드부(50);상기 헤드부(50)에 다수개가 국부적으로 수직관통형성되는 공급공(60);상기 헤드부(50)의 상부에 이격되도록 고정설치되되,

흡입패드(21)를 저면에 구비하는 제 1트랜스퍼(20)에 최외각 테두리부분이 접촉된 상태로, 회전되는 하정반(100)으로 옮겨져 위치고정되어 회전되는, 사전설정 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스(10)의 상면을 연마하는 것으로, 상기 디스플레이용 글라스(10)의 상면에 대응위치되어, 상기 하정반(100)과 동반회전되는 디스플레이용 글라스(10)의 회전방향과 동일하게 회전가능하게 설치되는 탈착형 헤드부(50);상기 헤드부(50)에 다수개가 국부적으로 수직관통형성되는 공급공(60);상기 헤드부(50)의 상부에 이격되도록 고정설치되되, 다수의 공급공(60)으로 분기되어, 각 공급공(60)마다 연마를 위한 연마 슬러리(S)를 공급하는 연마제 공급부(80);상기 헤드부(50)의 저면에 대응설치되어 헤드부(50)와 동반회전되며, 디스플레이용 글라스(10)의 상면에 접촉되어, 다수의 공급공(60)을 통해 공급된 연마 슬러리(S)로 디스플레이용 글라스(10) 상면의 이물질 및 미세돌기를 연마하는 연마패드(90);상기 연마제 공급부(80)가 일단 저면에 설치되고, 상기 헤드부(50)가 연마제 공급부(80) 하단에서 회전가능하게 설치되며, 타단은 하정반(100) 외측에 고정설치되어, 위치고정된 타단을 중심으로, 헤드부(50)를 좌, 우로 회동가능하게 이동시키는 지지부(70);상기 지지부(70)의 저면 중단에서 디스플레이용 글라스(10)를 향해 대응설치되어, 연마되는 디스플레이용 글라스(10)의 두께를 측정하여 연마공정을 확인할 수 있도록 하는 두께 측정부; 로 이루어지며,상기 연마제 공급부(80)는상기 헤드부(50)의 상면에 링형태로 설치되어, 외부로부터 연마 슬러리(S)를 공급받아 충진되는 리저브 탱크(81);상기 리저브 탱크(81)의 저면에서, 원주면을 따라 다수개가 연장형성되어, 상기 헤드부(50)의 다수 공급공(60)에 대응체결됨으로써, 상기 연마패드(90) 전체면에 걸쳐 연마 슬러리(S)가 고르게 공급되도록 하는 공급라인(82);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 대면적 글라스의 CMP 장치의 상정반.