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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0058403 (2018-05-23) | |
등록번호 | 10-2027814-0000 (2019-09-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180058403 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-05-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 디스플레이용 대면적 글라스의 CMP 장치의 상정반에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스의 연마장치를 구성함에 있어서, 하정반에 고정되어 회전되는 디스플레이용 글라스 상면에서, 디스플레이용 글라스와 동일한 방향으로 회전되면서 디스플레이용 글라스 상면의 이물질 및 미세돌기를 연마작업하되, 연마작업시 디스플레이용 글라스와 접촉되는 연마패드를 향해 균일적으로 연마제 슬러리를 공급하면서 회전되는 연마기술을 통해, 더욱 효율적이고 균일도가 향상되는 연마작업이 가능토록 한 디스플레이용 대면적 글라스의
흡입패드(21)를 저면에 구비하는 제 1트랜스퍼(20)에 최외각 테두리부분이 접촉된 상태로, 회전되는 하정반(100)으로 옮겨져 위치고정되어 회전되는, 사전설정 대면적을 가지는 디스플레이용 글라스(10)의 상면을 연마하는 것으로, 상기 디스플레이용 글라스(10)의 상면에 대응위치되어, 상기 하정반(100)과 동반회전되는 디스플레이용 글라스(10)의 회전방향과 동일하게 회전가능하게 설치되는 탈착형 헤드부(50);상기 헤드부(50)에 다수개가 국부적으로 수직관통형성되는 공급공(60);상기 헤드부(50)의 상부에 이격되도록 고정설치되되,
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