초록

기존의 슬러리 방식의 문제점을 해결하면서 가공속도가 향상되고, 가공 후 스크래치 발생을 최대한으로 줄여 원하는 조도를 얻을 수 있는 사파이어, 실리콘카바이드, 유리 및 실리콘 웨이퍼 폴리싱을 위한 고정지립 패드 및 그 패드의 제조방법을 제시한다. 그 패드 및 방법은 지립의 표면에 접착되고 레진으로 이루어진 바인더 및 지립의 일부가 삽입되어 바인더에 의해 고정되며 지립의 나머지 부분은 외측으로 돌출되는 펠트층을 포함하고, 펠트층은 동물의 털로 이루어지며, 지립은 진공을 이용하여 펠트층에 삽입된다.

대표청구항 ▼

지립;상기 지립의 표면에 접착되고, 레진으로 이루어진 바인더; 및상기 지립의 일부가 삽입되어 상기 바인더에 의해 고정되며, 상기 지립의 나머지 부분은 외측으로 돌출되는 펠트층을 포함하고, 상기 펠트층은 동물의 털로 이루어지고,상기 레진은 상기 지립 1g당 0.01~0.03g을 포함하고, 상기 지립의 평균입경은 1~15㎛이고 함량은 30~50vol%이며, 상기 펠트층을 이루는 섬유의 평균직경은 20~40㎛고, 상기 펠트층의 쇼와경도(A type)는 40~60인 것을 특징으로 하는 사파이어, 실리콘카바이드, 유리 및 실리콘 웨이퍼 폴리

지립;상기 지립의 표면에 접착되고, 레진으로 이루어진 바인더; 및상기 지립의 일부가 삽입되어 상기 바인더에 의해 고정되며, 상기 지립의 나머지 부분은 외측으로 돌출되는 펠트층을 포함하고, 상기 펠트층은 동물의 털로 이루어지고,상기 레진은 상기 지립 1g당 0.01~0.03g을 포함하고, 상기 지립의 평균입경은 1~15㎛이고 함량은 30~50vol%이며, 상기 펠트층을 이루는 섬유의 평균직경은 20~40㎛고, 상기 펠트층의 쇼와경도(A type)는 40~60인 것을 특징으로 하는 사파이어, 실리콘카바이드, 유리 및 실리콘 웨이퍼 폴리싱을 위한 고정지립 패드.