초록 ▼

본 발명은 사파이어나 세라믹 등과 같은 고경도 고취성 웨이퍼 재료를 가공하는 다이아몬드 공구에 관한 것으로서, 마이크로 경도 2,000kg/mm2 이상의 고경도 고취성 재료를 작은 부하로 깨짐이 없이 연마할 수 있는 다이아몬드 공구를 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다.본 발명은 메탈본드층, 연마지립 및 필러를 포함하고; 상기 필러는 2.5~3.5GPa의 경도 및 25~80GPa의 탄성계수를 갖는 비트리어스 카본 입자이고, 그 함량은 체적비로 5~30vol% 이고; 상기 연마지립과 같거나 큰 크기를 갖는 비트리어스 카본 입자가 총

본 발명은 사파이어나 세라믹 등과 같은 고경도 고취성 웨이퍼 재료를 가공하는 다이아몬드 공구에 관한 것으로서, 마이크로 경도 2,000kg/mm2 이상의 고경도 고취성 재료를 작은 부하로 깨짐이 없이 연마할 수 있는 다이아몬드 공구를 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다.본 발명은 메탈본드층, 연마지립 및 필러를 포함하고; 상기 필러는 2.5~3.5GPa의 경도 및 25~80GPa의 탄성계수를 갖는 비트리어스 카본 입자이고, 그 함량은 체적비로 5~30vol% 이고; 상기 연마지립과 같거나 큰 크기를 갖는 비트리어스 카본 입자가 총 비트리어스 카본 입자 함량의 20~100Vol%이고; 연마시 연마지립과 메탈본드층 표면으로부터의 돌출 높이가 동일한 비트리어스 카본 입자의 수가 연마지립 수와 같거나 많고;상기 메탈본드층의 경도 및 항절력은 각각 HRB 76~90 및 5~20kg/㎟인 고경도 고취성재료 가공용 다이아몬드 공구를 그 요지로 한다.본 발명은 화합물 반도체나 LED 조명 등의 웨이퍼로 사용되는 사파이어나 세라믹 등의 고경도 고취성 재료의 가공에 효과적으로 이용될 수 있다.

대표청구항 ▼

마이크로 경도 2,000kg/mm2 이상의 고경도 고취성 재료를 가공하는 다이아몬드 공구로서, 메탈본드층, 연마지립 및 필러를 포함하고;상기 필러는 2.5~3.5GPa의 경도 및 25~80GPa의 탄성계수를 갖는 비트리어스 카본(Vitreous Carbon)입자이고, 그 함량은 체적비로 5~30vol% 포함하고;상기 연마지립과 같거나 큰 크기를 갖는 비트리어스 카본 입자가 총 비트리어스 카본 입자 함량의 20~100Vol%이고;연마시 연마지립과 메탈본드층 표면으로부터의 돌출 높이가 동일한 비트리어스 카본 입자의 수가 연마지립 수와

마이크로 경도 2,000kg/mm2 이상의 고경도 고취성 재료를 가공하는 다이아몬드 공구로서, 메탈본드층, 연마지립 및 필러를 포함하고;상기 필러는 2.5~3.5GPa의 경도 및 25~80GPa의 탄성계수를 갖는 비트리어스 카본(Vitreous Carbon)입자이고, 그 함량은 체적비로 5~30vol% 포함하고;상기 연마지립과 같거나 큰 크기를 갖는 비트리어스 카본 입자가 총 비트리어스 카본 입자 함량의 20~100Vol%이고;연마시 연마지립과 메탈본드층 표면으로부터의 돌출 높이가 동일한 비트리어스 카본 입자의 수가 연마지립 수와 같거나 많고;상기 메탈본드층의 경도 및 항절력은 각각 HRB 76~90 및 5~20kg/㎟인 것을 특징으로 하는 고경도 고취성재료 가공용 다이아몬드 공구