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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

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안테나 및 플라즈마 처리 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01J-037/32
  • H01Q-001/26
출원번호 10-2018-0070250 (2018-06-19)
공개번호 10-2019-0000305 (2019-01-02)
등록번호 10-2580452-0000 (2023-09-14)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2017-122451 (2017-06-22)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180070250
발명자 / 주소
  • 가와다 유키 / 일본국 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 * 도쿄엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
  • 고야마 고지 / 일본국 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 * 도쿄엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소
  • 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 미나토쿠 아카사카 *쵸메 *반 *고
대리인 / 주소
  • 특허법인태평양
심사청구여부 있음 (2021-03-23)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

유전체창 및 유전체창의 한쪽 면에 마련된 슬롯판을 구비한 안테나에 있어서, 슬롯판에 있어서의 각 슬롯(S)의 폭방향의 중앙 위치이며 또한 길이 방향의 중앙 위치를 기준 위치(g)로 하는 경우, 각 슬롯(S)의 기준 위치(g)는, 무게 중심(G0)을 중심으로 하는 가상원 상에 위치하고 있으며, 각 슬롯(S)의 기준 위치(g)와, 이들 슬롯이 속하는 가상점(G1)을 연결하는 선분은, 가상점(G1)으로부터 방사 형상으로 위치하고, 인접하는 이들 선분 사이의 각도는 동일하며, 또한, 기준 위치(g)에 있어서의 각 슬롯(S)의 길이 방향과,

대표청구항

유전체창 및 상기 유전체창의 한쪽 면에 마련된 슬롯판을 구비한 안테나로서,상기 슬롯판 상에, 상기 슬롯판의 중앙을 둘러싸는 가상원 상에 복수의 가상점을 설정하고, 각 가상점의 주위를 둘러싸는 가상 환형선을 설정하여, 각 가상 환형선을 따라 4개 이상의 슬롯이 배치되어 이루어지는 집합을 슬롯군으로 하는 경우,각각의 슬롯군에 있어서,각 슬롯의 폭방향의 중앙 위치이며 또한 길이 방향의 중앙 위치를 기준 위치로 하는 경우,각 슬롯의 상기 기준 위치는, 상기 가상 환형선 상에 위치하고 있으며,각 슬롯의 상기 기준 위치와, 이들 슬롯이 속하는

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 기판 처리 장치 및 방법 | 장용수, 홍성환
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