[특허]진공 성막 장치

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[한국특허] 진공 성막 장치
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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C23C-014/56 C23C-014/50 C23C-016/54 H01L-021/02 H01L-021/67
출원번호	10-2018-0075287 (2018-06-29)
공개번호	10-2020-0002125 (2020-01-08)
등록번호	10-2157748-0000 (2020-09-14)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180075287
발명자 / 주소	이기태 / 경기도 평택시 청북읍 한산길 * 천민호 / 경기도 평택시 청북읍 한산길 *
출원인 / 주소	한국알박(주) / 경기도 평택시 청북면 한산길 **
대리인 / 주소	특허법인 무한
심사청구여부	있음 (2018-06-29)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

일 실시 예에 따른 진공 성막 장치는, 전달 유닛의 이동 경로 상에 배치되고, 상기 전달 유닛이 기판 교체 포지션에 위치할 경우, 상방으로 이동하여 상기 상부 레이어 및 하부 레이어를 이격시키는 승강부를 포함할 수 있다.

대표청구항 ▼

상부 레이어 및 하부 레이어로 구성되고, 전달 유닛에 장착된 상태로 이동하는 트레이에 기판을 장착시키기 위한 진공 성막 장치에 있어서,상기 전달 유닛의 이동 경로 상에 배치되고, 상기 전달 유닛이 기판 교체 포지션에 위치할 경우, 상방으로 이동하여 상기 상부 레이어 및 하부 레이어를 이격시키는 승강부를 포함하고,상기 승강부는,지면에 대해 고정된 베이스;상기 베이스에 대해 슬라이딩 가능한 연결 부재;상기 연결 부재에 연결되는 승강 플레이트;상기 승강 플레이트의 테두리부에 연직 방향으로 배치되고, 상기 상부 레이어를 지지 가능한 복수 개의 트레이 지지 로드; 및상기 승강 플레이트에 연직 방향으로 배치되고, 상기 트레이 지지 로드보다 낮은 높이를 갖고, 상기 복수 개의 지지 로드가 상기 상부 레이어를 지지하는 동안 상기 상부 레이어보다 낮은 높이에서 상기 기판을 지지 가능한 복수 개의 기판 지지 로드를 포함하는 진공 성막 장치.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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