$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[한국특허] 막 증착 장치 및 방법
Film Deposition Apparatus and Method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-014/56
  • C23C-014/34
  • H01L-021/02
  • H01L-021/677
출원번호 10-2018-0101508 (2018-08-28)
공개번호 10-2018-0099606 (2018-09-05)
등록번호 10-1958411-0000 (2019-03-08)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180101508
발명자 / 주소
  • 김선길 / 경기도 평택시 청북읍 한산길 * 한국알박(주)
  • 이기태 / 경기도 평택시 청북읍 한산길 * 한국알박(주)
  • 민문영 / 경기도 평택시 청북읍 한산길 * 한국알박(주)
출원인 / 주소
  • 한국알박(주) / 경기도 평택시 청북면 한산길 **
대리인 / 주소
  • 남승희
심사청구여부 있음 (2018-08-28)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 등록

초록

본 발명은, 서로 접속된 복수개의 챔버, 상기 복수개의 챔버의 내부에 각각 설치되는 반송레인, 상기 복수개의 챔버 중 일 챔버의 내부에 설치되는 보관레인, 상기 일 챔버의 옆 챔버에 설치되어 반송레인을 슬라이드 가능하게 지지하는 작동부,를 포함하고, 더미를 이용한 예비처리 후 아웃가싱 없이 기판에 대한 처리를 수행할 수 있는 막 증착 장치 및 방법이 제시된다.

대표청구항

삭제

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 진공처리장치 | 시시쿠라 마사토, 모리 가츠히코, 나카지마 도시오, 아라이 스스무
    상세보기
  2. [한국] 기판 처리용 설비의 이송장치 | 프릿쉐, 볼프-에카르트
    상세보기
  3. [일본] GAS PROCESSING APPARATUS, GAS PROCESSING METHOD, AND STORAGE MEDIUM | MURAKI YUSUKE, TOZAWA SHIGEKI
    상세보기

활용도 분석정보

상세보기
다운로드
내보내기

활용도 Top5 특허

해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로