채희상
/ 서울특별시 강남구 선릉로***길 **, ***동 ****호 (삼성동, 롯데캐슬프레미어)
김도훈
/ 경기도 성남시 분당구 운중로***번길 **-** (운중동)
출원인 / 주소
(주)밸류테크 / 경기도 화성시 동탄면 동탄산단*길 ** (*층)
대리인 / 주소
소진호
심사청구여부
있음 (2018-07-19)
심사진행상태
등록결정(재심사후)
법적상태
등록
초록▼
이 발명은, 방향을 절환하지 않고도 필요에 따라 전방 또는 후방으로 연장되도록 하여 웨이퍼를 이송시킴으로써 작업효율을 높일 수 있으며, 웨이퍼를 부드럽게 안착시키면서 진공압에 의하여 웨이퍼가 흡착 유지되게 함과 동시에 웨이퍼의 미끄러짐을 방지함으로써 웨이퍼가 안전하게 이송될 수 있도록 하고, 간단하게 탈착 및 분해를 한 후 재조립 및 장착이 용이하도록 함으로써 유지 보수 작업이 편리하게 이루어지도록 하며,링크 선단에 진공 펌프를 설치하고 진공압 통로를 단순화시킴으로써 로봇의 회전 동작에 의해 공기 호스가 꼬이게 되는 현상을 원천적으
이 발명은, 방향을 절환하지 않고도 필요에 따라 전방 또는 후방으로 연장되도록 하여 웨이퍼를 이송시킴으로써 작업효율을 높일 수 있으며, 웨이퍼를 부드럽게 안착시키면서 진공압에 의하여 웨이퍼가 흡착 유지되게 함과 동시에 웨이퍼의 미끄러짐을 방지함으로써 웨이퍼가 안전하게 이송될 수 있도록 하고, 간단하게 탈착 및 분해를 한 후 재조립 및 장착이 용이하도록 함으로써 유지 보수 작업이 편리하게 이루어지도록 하며,링크 선단에 진공 펌프를 설치하고 진공압 통로를 단순화시킴으로써 로봇의 회전 동작에 의해 공기 호스가 꼬이게 되는 현상을 원천적으로 제거할 수 있는, 웨이퍼 이송용 로봇에 관한 것으로서,이 발명의 구성은, 이송수단에 의해 전후좌우로 이송되는 몸체부와, 상기한 몸체부에 설치되어 있으며 회전 및 승하강 동작을 하는 회전축부와, 상기한 회전축부에 설치되어 있으며 전방 및 후방으로 연장되는 링크부와, 상기한 링크부의 최종단에 설치되어 웨이퍼를 이송시키기 위한 웨이퍼 받침부와, 상기한 웨이퍼를 흡착시키기 위한 보조 받침부와, 상기한 보조 받침부의 내부에 설치되어 진공압을 형성하기 위한 에어흡입 박스와, 상기한 에어흡입 박스에 연결되어 있는 흡기관과, 상기한 흡기관에 연결되어 있으며 내부에 에어 체류 공간부가 형성되어 있는 흡기 어댑터와, 상기한 흡기 어댑터에 연결되어 있으며 내부에 공기 통로가 형성되어 있는 중공 파이프와, 상기한 중공 파이프를 하우징에 고정시키기 위한 고정 부재와, 상기한 중공 파이프에 연결되어 있는 흡기 호스와, 상기한 흡기 호스를 중공 파이프에 연결시키기 위한 캡과, 상기한 흡기 호스에 연결되어 있으며 진공압을 발생시키는 소형 진공펌프를 포함하며, 상기한 회전축부는, 제1 암이 측면에 돌출 형성되어 있는 제1 회전축과, 상기한 제1 회전축의 상부에 설치되어 제1 회전축과 반대방향으로 회전되며 제2 암이 측면에 돌출 형성되어 있는 제2 회전축을 포함하여 이루어진다.
대표청구항▼
이송수단에 의해 전후좌우로 이송되는 몸체부와, 상기한 몸체부에 설치되어 있으며 회전 및 승하강 동작을 하는 회전축부와, 상기한 회전축부에 설치되어 있으며 전방 및 후방으로 연장되는 링크부와, 상기한 링크부의 최종단에 설치되어 웨이퍼를 이송시키기 위한 웨이퍼 받침부와, 상기한 웨이퍼를 흡착시키기 위한 보조 받침부와, 상기한 보조 받침부의 내부에 설치되어 진공압을 형성하기 위한 에어흡입 박스와, 상기한 에어흡입 박스에 연결되어 있는 흡기관과, 상기한 흡기관에 연결되어 있으며 내부에 에어 체류 공간부가 형성되어 있는 흡기 어댑터와, 상기
이송수단에 의해 전후좌우로 이송되는 몸체부와, 상기한 몸체부에 설치되어 있으며 회전 및 승하강 동작을 하는 회전축부와, 상기한 회전축부에 설치되어 있으며 전방 및 후방으로 연장되는 링크부와, 상기한 링크부의 최종단에 설치되어 웨이퍼를 이송시키기 위한 웨이퍼 받침부와, 상기한 웨이퍼를 흡착시키기 위한 보조 받침부와, 상기한 보조 받침부의 내부에 설치되어 진공압을 형성하기 위한 에어흡입 박스와, 상기한 에어흡입 박스에 연결되어 있는 흡기관과, 상기한 흡기관에 연결되어 있으며 내부에 에어 체류 공간부가 형성되어 있는 흡기 어댑터와, 상기한 흡기 어댑터에 연결되어 있으며 내부에 공기 통로가 형성되어 있는 중공 파이프와, 상기한 중공 파이프를 하우징에 고정시키기 위한 고정 부재와, 상기한 중공 파이프에 연결되어 있는 흡기 호스와, 상기한 흡기 호스를 중공 파이프에 연결시키기 위한 캡과, 상기한 흡기 호스에 연결되어 있으며 진공압을 발생시키는 소형 진공펌프를 포함하며, 상기한 회전축부는, 제1 암이 측면에 돌출 형성되어 있는 제1 회전축과, 상기한 제1 회전축의 상부에 설치되어 제1 회전축과 반대방향으로 회전되며 제2 암이 측면에 돌출 형성되어 있는 제2 회전축을 포함하며,상기한 웨이퍼 받침부는, 양측 받침판이 U자 형태를 형성하고 있으며, 상기한 양측 받침판에는 복수의 중량 감소용 구멍이 일정간격을 두고 형성되어 있으며, 상기 중량 감소용 구멍의 사이에 쿠션 부재가 돌출 형성되어 있으며, 상기한 양측 받침판의 내주면에는 끼움 요홈이 형성되어 있고, 양측 받침판의 사이에는 중앙 공간부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.