[특허]고효율 원자층 증착장치용 헤드 및 그것을 이용한 원자층 증착장치

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고효율 원자층 증착장치용 헤드 및 그것을 이용한 원자층 증착장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	C23C-016/455
출원번호	10-2018-0087647 (2018-07-27)
공개번호	10-2020-0012392 (2020-02-05)
등록번호	10-2180291-0000 (2020-11-12)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180087647
발명자 / 주소	최경현 / 제주특별자치도 제주시 제주대학로길 - 김현범 / 제주특별자치도 제주시 남성로 * 이재욱 / 제주특별자치도 서귀포시 천제연로번길 *
출원인 / 주소	제주대학교 산학협력단 / 제주특별자치도 제주시 제주대학로 *** (아라일동, 제주대학교)
대리인 / 주소	피앤피특허법인
심사청구여부	있음 (2018-07-27)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명은 전구체 및 증착가스를 균일하게 분사할 수 있는 헤드구조를 가진 균일분사로를 갖는 원자층 증착장치에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은 이송되는 기판 위에 원자층을 증착시키는 원자층 증착장치용 헤드에 있어서, 상기 헤드는, 가스가 주입되는 복수 개의 주입홀 및 가스가 배출되는 배출홀이 형성되는 탑레이어부; 상기 탑레이어부의 하부에 구비되어 상기 탑레이어부에서 분사된 가스가 기판의 이송방향을 따라 분산되도록 하는 미드레이어부; 상기 탑레이어부 및 미드레이어부 사이에 구비되며, 상기 탑레이어부에서 분사되는 가스의 방향을 바꾸어 균일하게 분산되도록 하는 탑미드분산레이어부; 상기 미드레이어부의 하부에 구비되어 가스가 기판의 폭방향으로 퍼지도록 하는 복수 개의 슬릿이 형성된 바텀레이어부를 포함하여 구성되는 원자층 증착장치용 헤드를 제공한다.따라서, 본 발명에 의하면, 연속적인 공정으로 종래보다 빠른 속도로 박막이 형성된 휘어지는 기판을 제조할 수 있으며, 기판의 폭방향으로 모든 가스가 균일하게 분사되어 고품질의 박막이 형성된 기판을 제조할 수 있다.

대표청구항 ▼

이송되는 기판 위에 원자층을 증착시키는 원자층 증착장치용 헤드에 있어서,상기 헤드는,가스가 주입되는 복수 개의 주입홀 및 가스가 배출되는 배출홀이 형성되는 탑레이어부;상기 탑레이어부의 하부에 구비되어 상기 가스가 기판의 진행방향을 따라 분산되도록 하는 미드레이어부;상기 미드레이어부의 하부에 구비되어 가스가 기판의 폭방향으로 퍼지도록 하는 복수 개의 슬릿이 형성된 바텀레이어부;상기 미드레이어부 및 바텀레이어부의 사이에 구비되어 상기 가스를 기판 폭방향으로 균일하게 분사시키는 폭방향균일분사로가 형성된 미드바텀분산레이어부; 및상기 탑레이어부 및 상기 미드레이어부 사이에 구비되고, 상기 가스가 이동하는 분산주입홀과, 상기 분산주입홀을 통해 이동하는 가스를 기판진행방향으로 양분하는 균일분사로가 형성된 탑미드분산레이어부를 포함하고,상기 탑미드분산레이어부는 복수개의 층으로 구비되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치용 헤드.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

[한국] 가스공급부 | 김재환, 김종환
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[한국] 원자층 증착용 헤드 및 이를 구비하는 원자층 증착 장치 | 최경현, 카므란 알리, 당현우, 김고범
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특허 원문 보기

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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