[특허]결정성이 제어된 지르코니아 입자를 포함한 연마재 및 이의 제조방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C09K-003/14 B24B-007/22 H01L-021/304 H01L-021/306
출원번호	10-2018-0096702 (2018-08-20)
공개번호	10-2020-0021215 (2020-02-28)
등록번호	10-2150945-0000 (2020-08-27)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180096702
발명자 / 주소	나호성 / 경기도 안양시 동안구 흥안대로*번길 , *호(호계동) 김주영 / 경기도 오산시 내삼미로 , *동 호(내삼미동, 세교쌍용예가NHF) 최용원 / 경기도 수원시 영통구 덕영대로 *-, *동 호(망포동, 힐스테이트 영통 아파트) 이민수 / 경기도 안양시 동안구 평촌대로번길 , 동 *호(호계동, 목련우성아파트)
출원인 / 주소	주식회사 엘엠에스 / 경기 평택시 진위면 진위산단로 -,
대리인 / 주소	특허법인다나
심사청구여부	있음 (2018-08-20)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 결정성이 제어된 지르코니아 입자를 포함한 연마재 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 연마재는 사파이어 웨이퍼의 연마 및 평탄화 공정에서 성능과 효율을 상당히 개선시킬 수 있고, 표면의 결함을 줄이는 동시에 높은 물질 제거율과 함께 우수한 평탄도를 달성할 수 있다.또한 본 발명에 따른 연마재를 이용하여 연마할 경우, 투스텝(Two Step)의 CMP 공정을 원스텝(One Step) 공정으로 간소화할 수 있어, 투자 및 재료 원가를 절감시킬 수 있다.

대표청구항

정방정계(Tetragonal) 결정구조로 이루어지고, 평균 입경이 3 내지 15 nm의 범위 내이며, 이트리아(Y203), 산화칼슘(CaO), 마그네시아(MgO), 알루미나(Al2O3), 산화하프늄(HfO2) 및 세리아(CeO2) 중 1종 이상으로 도핑된 지르코니아(ZrO2) 입자를 포함한 연마재.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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