초록 ▼

본 발명은 반송 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 반송 장치는, 챰버 내에 위치하는 수직 캐리어를 반송하는 반송 장치로서, 수직 방향으로 기립된 캐리어와, 캐리어의 상부에 부착되는 캐리어 자석과, 캐리어 자석에 이격되어, 챔버에 부착되며, 캐리어 자석과 상이한 극성의 챔버 자석과, 캐리어 하부의 랙 자석과, 랙 자석과 이격되어 배치되는 피니언 자석과, 피니언 자석이 부착되는 제1 구동축과, 제1 구동축을 회전시키는 모터와, 제1 구동축에 연결되는 제1 롤러와, 캐리어의 하부에 배치되며, 제1 롤러의 회전에 의해, 회전하

본 발명은 반송 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 반송 장치는, 챰버 내에 위치하는 수직 캐리어를 반송하는 반송 장치로서, 수직 방향으로 기립된 캐리어와, 캐리어의 상부에 부착되는 캐리어 자석과, 캐리어 자석에 이격되어, 챔버에 부착되며, 캐리어 자석과 상이한 극성의 챔버 자석과, 캐리어 하부의 랙 자석과, 랙 자석과 이격되어 배치되는 피니언 자석과, 피니언 자석이 부착되는 제1 구동축과, 제1 구동축을 회전시키는 모터와, 제1 구동축에 연결되는 제1 롤러와, 캐리어의 하부에 배치되며, 제1 롤러의 회전에 의해, 회전하는 제2 구동축을 포함한다. 정보에 기초하여, 필라멘트 카트리지의 공급 속도를 제어하는 프로세서를 포함한다. 이에 의해, 수직 캐리어를 반송하는 반송 장치로서 기판이 부착되는 캐리어의 중량이 커지더라도 반송 에너지를 저감할 수 있게 된다.

대표청구항 ▼

챔버 내에 위치하는 캐리어를 수평 방향으로 반송하는 반송 장치에 있어서,수직 방향으로 기립되며, 수직 부분과 수평 부분을 가지는 L형 캐리어; 상기 캐리어의 상부에 부착되는 캐리어 자석;상기 캐리어 자석에 이격되어, 상기 챔버에 부착되며, 상기 캐리어 자석과 상이한 극성의 챔버 자석;상기 L형 캐리어의 상기 수평 부분의 하부에 일렬로 상기 수평 방향으로 배열되는 랙 자석;상기 랙 자석과 이격되어 상기 랙 자석의 하부에 배치되는 피니언 자석;상기 피니언 자석이 부착되는 제1 구동축;상기 제1 구동축을 회전시키는 모터;상기 제1 구동축

챔버 내에 위치하는 캐리어를 수평 방향으로 반송하는 반송 장치에 있어서,수직 방향으로 기립되며, 수직 부분과 수평 부분을 가지는 L형 캐리어; 상기 캐리어의 상부에 부착되는 캐리어 자석;상기 캐리어 자석에 이격되어, 상기 챔버에 부착되며, 상기 캐리어 자석과 상이한 극성의 챔버 자석;상기 L형 캐리어의 상기 수평 부분의 하부에 일렬로 상기 수평 방향으로 배열되는 랙 자석;상기 랙 자석과 이격되어 상기 랙 자석의 하부에 배치되는 피니언 자석;상기 피니언 자석이 부착되는 제1 구동축;상기 제1 구동축을 회전시키는 모터;상기 제1 구동축에 연결되는 제1 롤러;상기 캐리어의 하부에 배치되며, 상기 캐리어의 상기 수직 방향 부상시, 상기 제1 롤러와 이격되며, 상기 캐리어의 상기 수직 방향 하강시, 상기 제1 롤러와 접촉하는 제2 구동축;을 포함하며,상기 캐리어 자석과 상기 챔버 자석의 상이한 극성에 의한 자석 간 인력에 의해 상기 캐리어가 자기 부상되는 경우, 상기 제1 구동축의 회전에 의해, 상기 피니언 자석과 상기 제1 롤러가 회전하며, 상기 제1 롤러와 상기 제2 구동축이 이격되어, 상기 피니언 자석의 회전에 의해, 상기 랙 자석이 상기 수평 방향으로 이동하여, 상기 캐리어가 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 캐리어가 자기 부상되지 않거나, 상기 수직 방향 하강되는 경우, 상기 제1 구동축의 회전에 의해, 상기 피니언 자석과 상기 제1 롤러가 회전하며, 상기 제1 롤러와 상기 제2 구동축이 접촉하며, 상기 제1 롤러와 상기 제2 구동축의 회전에 기초하여, 상기 캐리어가 상기 수평 방향으로 이동하며,상기 캐리어의 자기 부상에 이상이 발생하는 경우, 상기 제1 롤러를 이용하여, 상기 캐리어를 지속적으로 상기 수평 방향으로 이동 또는 반송하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.