초록 ▼

본 발명은 반도체나 디스플레이패널 제조장비 등에 사용되는 공정가스라인용 히터 재킷을 개시한다. 본 발명은, 내열성이 우수한 유연한 재질의 튜브와, 튜브의 내부에 충진되는 다수의 열전도볼을 구비하여 공정가스라인을 감싸주는 내부 재킷; 내부에 소정온도로 발열하는 히터를 구비하고, 내열성과 보온단열성이 우수한 유연한 재질로 이루어져 내부 재킷을 에워싸는 외부 재킷;을 포함한다. 내부 재킷의 열전도볼이 소정지름을 갖는 알루미늄볼로 이루어진다. 외부 재킷은, 한쪽면이 내부 재킷에 접촉하는 절연재와, 이 절연재의 다른쪽 면에 접하도록 설치되는

본 발명은 반도체나 디스플레이패널 제조장비 등에 사용되는 공정가스라인용 히터 재킷을 개시한다. 본 발명은, 내열성이 우수한 유연한 재질의 튜브와, 튜브의 내부에 충진되는 다수의 열전도볼을 구비하여 공정가스라인을 감싸주는 내부 재킷; 내부에 소정온도로 발열하는 히터를 구비하고, 내열성과 보온단열성이 우수한 유연한 재질로 이루어져 내부 재킷을 에워싸는 외부 재킷;을 포함한다. 내부 재킷의 열전도볼이 소정지름을 갖는 알루미늄볼로 이루어진다. 외부 재킷은, 한쪽면이 내부 재킷에 접촉하는 절연재와, 이 절연재의 다른쪽 면에 접하도록 설치되는 열선과, 이 열선의 노출면을 감싸주는 제1보온단열재와, 이 제1보온단열재를 감싸주는 제2보온단열재 및 제2보온단열재를 감싸주는 외피를 구비하여 확실한 단열성능을 구축함으로써 공정가스라인의 온도를 안정되게 유지시킨다.본 발명은, 공정가스라인에 대한 균일한 열전달이 가능하여 열전달 효율을 크게 증대시킬 수 있음은 물론 가스라인의 크기가 다르거나 밸브연결 부위와 같이 외형이 일정하지 않더라도 그 외형에 구애받지 않고 확실하게 밀착되도록 감싸줄 수 있어 가열대상에 관계없이 범용으로 사용할 수 있다.

대표청구항 ▼

전자파 무반사실의 바닥에 설치되어서 테스트대상기기를 탑재하여 회전하는 턴테이블 장치로서,상기 무반사실의 바닥과 동일 평면상에 위치하여 회전하며, 중앙에 접속부를 가지고, 가장자리부에 조작부를 갖는 회전원판;상기 회전원판의 하면 중앙에 고정되어서 구동수단에 의해 정,역 회전하는 보빈;상기 보빈을 회전 가능하게 지지하며, 에너지 체인이 소정형태로 작동되도록 안내하는 에너지 체인 가이드를 갖는 보빈지지체;상기 보빈에 일단이 연결되고, 타단이 상기 에너지 체인 가이드에 연결되어 상기 보빈의 회전에 따라 보빈에 감기고 풀리면서 상기 회전원판

전자파 무반사실의 바닥에 설치되어서 테스트대상기기를 탑재하여 회전하는 턴테이블 장치로서,상기 무반사실의 바닥과 동일 평면상에 위치하여 회전하며, 중앙에 접속부를 가지고, 가장자리부에 조작부를 갖는 회전원판;상기 회전원판의 하면 중앙에 고정되어서 구동수단에 의해 정,역 회전하는 보빈;상기 보빈을 회전 가능하게 지지하며, 에너지 체인이 소정형태로 작동되도록 안내하는 에너지 체인 가이드를 갖는 보빈지지체;상기 보빈에 일단이 연결되고, 타단이 상기 에너지 체인 가이드에 연결되어 상기 보빈의 회전에 따라 보빈에 감기고 풀리면서 상기 회전원판의 접속부에 외부의 전원케이블과 RF케이블 등을 연결시켜 주는 에너지 체인;상기 보빈의 둘레에 간격을 두고 설치되는 환형의 가이드레일과, 상기 회전원판의 하면 가장자리에 방사상으로 구비되어 상기 가이드레일 위를 주행하는 다수의 주행바퀴를 구비함으로써 상기 회전원판의 가장자리 하부를 지지하여 회전원판의 안정된 회전을 도모하는 회전지지수단; 및구리재질의 메시로 이루어져서 밴드에 설치되고, 밴드에는 일정간격으로 고정러그가 구비되어 상기 회전원판이 위치하는 상기 무반사실 바닥의 개구 내주에 설치됨으로써 상기 회전원판의 외주에 접촉하는 전자파 누설차폐부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자파 무반사실용 턴테이블 장치.