초록

본 발명은 압전 공진기에 관한 것으로, 상기 압전 공진기는 베이스, 및 상기 베이스로부터 연장하는 적어도 2 개의 진동 아암들 (3) 을 포함하고, 적어도 2 개의 그루브들 (4a, 4b) 이 아암들의 상부면 및 하부면에서 그리고 아암들의 길이의 일부에서 서로 대향하게 형성된다. 상부면 상의 그루브의 깊이는 각 아암의 전체 두께의 30% 미만이고 하부면 상의 그루브의 깊이는 각 아암의 전체 두께의 50% 초과이거나, 또는 그 반대이다.

대표청구항 ▼

베이스 (2), 및 상기 베이스 (2) 에 결정 축선 (X) 의 방향으로 연결되는 적어도 2 개의 진동 아암들 (3, 3') 을 포함하는 압전 공진기 (1) 로서,상기 진동 아암들 (3, 3') 은 상기 베이스로부터 결정 축선 (+Y 또는 -Y) 의 방향으로 연장하고, 적어도 제 1 그루브 (4a, 4a') 가 상기 진동 아암들 (3, 3') 의 길이의 일부에서 상기 결정 축선 (+Y 또는 -Y) 을 따라 각 아암 (3, 3') 의 측면 (+Z) 상의 상부면에 형성되고, 적어도 제 2 그루브 (4b, 4b') 가 상기 진동 아암들

베이스 (2), 및 상기 베이스 (2) 에 결정 축선 (X) 의 방향으로 연결되는 적어도 2 개의 진동 아암들 (3, 3') 을 포함하는 압전 공진기 (1) 로서,상기 진동 아암들 (3, 3') 은 상기 베이스로부터 결정 축선 (+Y 또는 -Y) 의 방향으로 연장하고, 적어도 제 1 그루브 (4a, 4a') 가 상기 진동 아암들 (3, 3') 의 길이의 일부에서 상기 결정 축선 (+Y 또는 -Y) 을 따라 각 아암 (3, 3') 의 측면 (+Z) 상의 상부면에 형성되고, 적어도 제 2 그루브 (4b, 4b') 가 상기 진동 아암들 (3, 3') 의 길이의 일부에서 상기 결정 축선 (+Y 또는 -Y) 을 따라서 그리고 상기 제 1 그루브 (4a, 4a') 와 대향하여 각 아암 (3, 3') 의 측면 (-Z) 상의 하부면에 형성되고,상기 제 1 그루브 (4a, 4a') 및 상기 제 2 그루브 (4b, 4b') 는 비대칭 그루브들을 형성하기 위하여 상이한 깊이들을 가지고,상기 제 1 그루브 (4a, 4a') 의 깊이는 각 아암 (3, 3') 의 전체 두께의 30% 미만이거나 각 아암 (3, 3') 의 전체 두께의 50% 초과이고,상기 제 2 그루브 (4b, 4b') 의 깊이는, 상기 제 1 그루브 (4a, 4a') 의 깊이가 각 아암 (3, 3') 의 전체 두께의 30% 미만일 경우 각 아암 (3, 3') 의 전체 두께의 50% 초과이거나, 상기 제 1 그루브 (4a, 4a') 의 깊이가 각 아암 (3, 3') 의 전체 두께의 50% 초과일 경우 각 아암 (3, 3') 의 전체 두께의 30% 미만인 것을 특징으로 하는, 압전 공진기 (1).