[특허]절연막 식각액 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C09K-013/06 H01L-021/306
출원번호	10-2018-0134855 (2018-11-06)
공개번호	10-2019-0060668 (2019-06-03)
우선권정보	대한민국(KR) 1020170158413 (2017-11-24)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180134855
발명자 / 주소	김정환 / 전라북도 익산시 서동로 *, 호(용제동, 동우화인켐사원아파트) 이은정 / 서울특별시 광진구 아차산로길 , 동 호(광장동, 광나루현대아파트) 김병묵 / 전라북도 전주시 완산구 유연로 , 동 *호(효자동가, 우미린) 김태희 / 전라북도 익산시 고봉로길 , *동 호(영등동, 영등차제일아파트) 이승용 / 대전광역시 유성구 봉명로 , 동 **호(봉명동, 도안신도시단지예미지백조의호수) 최한영 / 경기도 평택시 세교공원로 , 동 **호(세교동, 부영원앙아파트)
출원인 / 주소	동우 화인켐 주식회사 / 전라북도 익산시 약촌로 *** (신흥동)
대리인 / 주소	특허법인리채
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명의 실시예들의 절연막 식각액 조성물은 인산, 복수의 실란기들이 적어도 하나의 탄소원자를 포함하는 링커기에 의해 연결된 멀티포달(multipodal) 실란 화합물, 및 여분의 물을 포함한다. 멀티포달(multipodal) 실란 화합물에 의해 산화막이 패시베이션되어 식각 선택비가 향상될 수 있다.

대표청구항

인산; 복수의 실란기들이 적어도 하나의 탄소원자를 포함하는 링커기에 의해 연결된 멀티포달(multipodal) 실란 화합물; 및여분의 물을 포함하는 절연막 식각액 조성물.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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