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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0134855 (2018-11-06) | |
공개번호 | 10-2019-0060668 (2019-06-03) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020170158413 (2017-11-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180134855 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 실시예들의 절연막 식각액 조성물은 인산, 복수의 실란기들이 적어도 하나의 탄소원자를 포함하는 링커기에 의해 연결된 멀티포달(multipodal) 실란 화합물, 및 여분의 물을 포함한다. 멀티포달(multipodal) 실란 화합물에 의해 산화막이 패시베이션되어 식각 선택비가 향상될 수 있다.
인산; 복수의 실란기들이 적어도 하나의 탄소원자를 포함하는 링커기에 의해 연결된 멀티포달(multipodal) 실란 화합물; 및여분의 물을 포함하는 절연막 식각액 조성물.
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