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연합인증

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[한국특허] 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G03F-007/00
  • G03F-009/00
  • H01L-021/027
출원번호 10-2018-0136713 (2018-11-08)
공개번호 10-2020-0031011 (2020-03-23)
등록번호 10-2098867-0000 (2020-04-02)
우선권정보 대한민국(KR) 1020180109067 (2018-09-12)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180136713
발명자 / 주소
  • 서지훈 / 경기도 남양주시 진접읍 해밀예당*로 ***, 반도유보라메이플타운 ****-***
  • 이유헌 / 세종특별자치시 새롬로 ** ****동 ***호 (새롬동,새뜸마을**단지)
  • 유금표 / 경기도 안성시 공도읍 진건중길 **-** 쌍용스윗닷홈APT ***동 ***호
출원인 / 주소
  • (주)아이테드 / 대전광역시 유성구 유성대로 ****, ***호(전민동, 한남대학교 대덕밸리캠퍼스이노비즈파크)
대리인 / 주소
  • 박상환
심사청구여부 있음 (2018-11-08)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

임프린팅 장치는 마스터 기판 및 폴리머 필름 사이에 압력을 인가하여, 상기 마스터 기판에 형성된 패턴을 상기 폴리머 필름에 전사시킨다. 상기 임프린팅 장치는 복수의 코일들을 포함하며, 상기 복수의 코일들에 의해 유도된 전자기장에 의해 상기 마스터 기판의 표면이 가열된다. 상기 복수의 코일들의 위치는 상기 마스터 기판에 대응하여 변경된다.

대표청구항

지지면을 제공하는 제1 몸체부; 및상기 지지면과 대향하는 압착면을 제공하며, 상하 방향으로 움직일 수 있는 제2 몸체부를 포함하고,상기 제1 몸체부는,매트릭스 형태로 배열되고, 각각에 상기 상하 방향과 직교하는 제1 방향으로 형성된 제1 관통홀 및 상기 상하 방향 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 형성된 제2 관통홀이 정의된 복수의 코일코어들;각각이 상기 복수의 코일코어들을 둘러싸는 복수의 코일선들; 각각이 상기 복수의 코일코어들 중 대응하는 코일코어들의 제1 관통홀들을 통과하는 복수의 제1 지지봉들; 및각각이 상기 복수

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