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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0145738 (2018-11-22) | |
공개번호 | 10-2020-0060137 (2020-05-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180145738 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-11-22) | |
심사진행상태 | 포기(등록료 미납) | |
법적상태 | 포기 |
모터에 의해 상하 방향으로 작동되는 리프트 핀을 이용하여 포커스 링의 기울기를 보상하는 포커스 링 높이 제어 장치 및 이를 구비하는 기판 식각 장치가 제공된다. 포커스 링 높이 제어 장치는, 포커스 링; 일측에서 상승하여 포커스 링에 접촉하는 제1 리프트 핀; 및 타측에서 상승하여 포커스 링에 접촉하는 제2 리프트 핀을 포함하며, 포커스 링에 모두 접촉할 때까지 제1 리프트 핀과 제2 리프트 핀을 상승시켜 포커스 링의 기울기를 보상한다.
포커스 링(focus ring);일측에서 상승하여 상기 포커스 링에 접촉하는 제1 리프트 핀; 및타측에서 상승하여 상기 포커스 링에 접촉하는 제2 리프트 핀을 포함하며,상기 포커스 링에 모두 접촉할 때까지 상기 제1 리프트 핀과 상기 제2 리프트 핀을 상승시켜 상기 포커스 링의 기울기를 보상하는 포커스 링 높이 제어 장치.
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