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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2018-0152938 (2018-11-30) | |
| 공개번호 | 10-2020-0066489 (2020-06-10) | |
| 등록번호 | 10-2145948-0000 (2020-08-12) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020180152938 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2018-11-30) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명에 따른 다성분계 코팅막 증착방법은, 이온 충돌을 통해 대상모재의 표면에 에칭을 수행하는 (a)단계 및 아킹 현상에 의해 타겟을 이온화시키고, 상기 대상모재 표면에 복수의 레이어를 기 설정된 순서로 증착하여 다성분계 코팅막을 형성하는 (b)단계를 포함한다.
이온 충돌을 통해 대상모재의 표면에 에칭을 수행하는 (a)단계; 및아킹 현상에 의해 타겟을 이온화시키고, 상기 대상모재 표면에 복수의 레이어를 기 설정된 순서로 증착하여 다성분계 코팅막을 형성하는 (b)단계;를 포함하며,상기 (b)단계는,상기 대상모재 표면에 밀착층을 형성하는 (b-1)단계;상기 밀착층 상에 하지 지지층을 형성하는 (b-2)단계; 및상기 하지 지지층 상에 기능성 표면층을 형성하는 (b-3)단계;를 포함하되,상기 (b-1)단계, 상기 (b-2)단계 및 상기 (b-3)단계는 반복적으로 복수 회 수행됨에 따라, 연속적으로
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