초록

품질 관리 장치(20)는 전공정으로부터 취득된 측정치 및 후공정으로부터 취득된 비교용 측정치에 근거해서 회귀식을 산출하는 회귀 분석부(33)와, 상기 전공정에 있어서의 판정 기준 범위를 정하는 판정 기준치를 그 회귀식의 설명 변수에 대입해서 예측치를 산출하고, 해당 예측치를 후공정에 있어서의 비교용 판정 기준 범위와 비교해서 측정치가 허용되는지 여부를 판정하는 마진 판정부(34)와, 그 판정 결과에 따라서 판정 기준치를 대체하기 위한 새로운 판정 기준치를 산출하는 기준치 산출부(35)를 구비한다.

대표청구항 ▼

제조 프로세스를 구성하는 복수의 공정 중 하나의 검사 공정 또는 하나의 제조 공정인 전(前)공정으로부터 측정치의 계열을 취득함과 아울러, 상기 복수의 공정 중 상기 전공정보다 하류에 있는 다른 검사 공정인 후공정으로부터, 상기 측정치의 계열에 대응하는 비교용 측정치의 계열을 취득하는 측정치 취득부와, 상기 측정치를 설명 변수의 값으로서 사용하고, 상기 비교용 측정치를 목적 변수의 값으로서 사용한 회귀 분석을 실행함으로써 회귀식을 산출하는 회귀 분석부와, 상기 전공정에 있어서의 품질 판정을 위한 판정 기준 범위를 정하는 판정 기준치를

제조 프로세스를 구성하는 복수의 공정 중 하나의 검사 공정 또는 하나의 제조 공정인 전(前)공정으로부터 측정치의 계열을 취득함과 아울러, 상기 복수의 공정 중 상기 전공정보다 하류에 있는 다른 검사 공정인 후공정으로부터, 상기 측정치의 계열에 대응하는 비교용 측정치의 계열을 취득하는 측정치 취득부와, 상기 측정치를 설명 변수의 값으로서 사용하고, 상기 비교용 측정치를 목적 변수의 값으로서 사용한 회귀 분석을 실행함으로써 회귀식을 산출하는 회귀 분석부와, 상기 전공정에 있어서의 품질 판정을 위한 판정 기준 범위를 정하는 판정 기준치를 상기 회귀식의 설명 변수에 대입함으로써 예측치를 산출하고, 상기 예측치를 상기 후공정에 있어서의 품질 판정을 위한 비교용 판정 기준 범위와 비교해서 상기 측정치가 허용되는지 여부를 판정하는 마진 판정부와, 상기 마진 판정부에 의한 판정 결과에 따라서, 상기 판정 기준치를 대체하기 위한 새로운 판정 기준치를 산출하는 기준치 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 품질 관리 장치.