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[한국특허] 불소 가스의 정제 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C01B-007/20
  • H01L-021/3065
출원번호 10-2018-7025979 (2018-09-07)
공개번호 10-2018-0113208 (2018-10-15)
등록번호 10-2165773-0000 (2020-10-07)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2016-022455 (2016-02-09);일본(JP) JP-P-2017-010593 (2017-01-24)
국제출원번호 PCT/JP2017/002854 (2017-01-27)
국제공개번호 WO 2017/138367 (2017-08-17)
번역문제출일자 2018-09-07
DOI http://doi.org/10.8080/1020187025979
발명자 / 주소
  • 야오 아키후미 / 일본국, 야마구치, 우베-시 오아자 오키우베 ****, 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 가가쿠겡큐쇼(우베) 내
  • 오야 고헤이 / 일본국, 야마구치, 우베-시 오아자 오키우베 ****, 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 가가쿠겡큐쇼(우베) 내
  • 다케다 유타 / 일본국, 야마구치, 우베-시 오아자 오키우베 ****, 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 가가쿠겡큐쇼(우베) 내
  • 에토 준 / 일본국, 야마구치, 우베-시 오아자 오키우베 ****, 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 가가쿠겡큐쇼(우베) 내
출원인 / 주소
  • 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 / 일본국, 야마구치, 우베-시 오아자 오키우베 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인(유)화우
심사청구여부 있음 (2018-09-07)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

개시되어 있는 것은, 불화수소와 금속 성분을 포함하는 불소 가스로부터 금속 성분을 제거하는 정제 방법이다.이 방법은, 상기 불소 가스를, 고체의 금속 불화물에 접촉시키고, 불화수소 및 금속 성분을 금속 불화물에 흡착시켜 제거하는 제거 공정을 포함한다.상기 제거 공정 전의 불소 가스 중의 불화수소의 함유량이, 불소 가스, 불화수소 및 금속 성분의 합계 체적에 대하여 50체적ppm 이상, 1체적％ 이하이다.금속 불화물이, 알칼리 금속 불화물 또는 알칼리 토류 금속 불화물인 것이 바람직하다.불소 가스에 불화수소를 공존시킴으로써, 의외로

대표청구항

불화수소와 금속 성분을 포함하는 불소 가스로부터 금속 성분을 제거하는 불소 가스의 정제 방법으로서,상기 불소 가스를, 고체의 금속 불화물에 접촉시키고, 불화수소 및 금속 성분을 금속 불화물에 흡착시켜 제거하는 제거 공정을 포함하고,상기 제거 공정 전의 불소 가스 중의 불화수소의 함유량이, 불소 가스, 불화수소 및 금속 성분의 합계 체적에 대하여 50체적ppm 이상, 1체적％ 이하이며,상기 제거 공정에 있어서, 불소 가스를 고체의 금속 불화물에 접촉시키는 온도가, 0℃ 이상, 50℃ 이하인, 불소 가스의 정제 방법.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 삼불화질소가스의 정제 방법 | 하라다이사오, 호꼬노하라히사시, 야마구찌도시아끼
    상세보기
  2. [일본] FLUORINE GAS GENERATING DEVICE | MORI ISAMU, MIYAZAKI TATSUO, YAO AKIFUMI, KITA TAKUYA
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