구로이와 게이조오
/ 일본 ******* 도쿄도 미나토쿠 아카사카 *-*-* 아카사카 비즈 타워 도쿄 엘렉트론 가부시키가이샤 내
오가타 구니에
/ 일본 ******* 구마모토켕 고오시시 후쿠하라 *-* 도쿄 엘렉트론 가부시키가이샤 내
마츠오카 노부아키
/ 일본 ******* 구마모토켕 고오시시 후쿠하라 *-* 도쿄 엘렉트론 규우슈우 가부시키가이샤 내
다사키 노부유키
/ 일본 ******* 구마모토켕 고오시시 후쿠하라 *-* 도쿄 엘렉트론 규우슈우 가부시키가이샤 내
미야타 아키라
/ 일본 ******* 구마모토켕 고오시시 후쿠하라 *-* 도쿄 엘렉트론 규우슈우 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소
도쿄엘렉트론가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 미나토쿠 아카사카 *쵸메 *반 *고
대리인 / 주소
장수길;
김성환;
성재동
심사청구여부
있음 (2018-09-13)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
등록
초록▼
본 발명은 처리 블록에서 기판에 도포막을 형성한 후, 이 기판을 노광 장치에 전달하고, 노광 후의 기판에 대하여 처리 블록에서 현상 처리를 행하고, 그 후 캐리어에 전달하도록 구성되며, 동일 시간당 기판의 처리 매수가 노광 장치보다도 많은 도포 현상 장치에 있어서, 노광 전의 기판을 일단 임시 적재하는 임시 적재부와, 기판의 반송 경로에서의, 기판이 놓이는 모듈에 대하여 메인터넌스를 행하기 위해서, 당해 상류측의 기판의 반송을 정지하는 시간의 길이를 설정하기 위한 정지 시간 설정부와, 임시 적재부에 놓인 기판의 매수가 정지 시간의
본 발명은 처리 블록에서 기판에 도포막을 형성한 후, 이 기판을 노광 장치에 전달하고, 노광 후의 기판에 대하여 처리 블록에서 현상 처리를 행하고, 그 후 캐리어에 전달하도록 구성되며, 동일 시간당 기판의 처리 매수가 노광 장치보다도 많은 도포 현상 장치에 있어서, 노광 전의 기판을 일단 임시 적재하는 임시 적재부와, 기판의 반송 경로에서의, 기판이 놓이는 모듈에 대하여 메인터넌스를 행하기 위해서, 당해 상류측의 기판의 반송을 정지하는 시간의 길이를 설정하기 위한 정지 시간 설정부와, 임시 적재부에 놓인 기판의 매수가 정지 시간의 길이에 따른, 처리 블록에 의한 기판의 처리 매수에 도달했는지 여부를 감시하고, 소정의 처리 매수에 도달한 후에 임시 적재부의 상류측의 기판의 반송을 정지하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구비하고 있다.
대표청구항▼
캐리어 블록에 적재된 캐리어로부터 취출된 기판을 처리 블록에서 레지스트막을 포함하는 도포막을 형성한 후, 노광 장치에 전달하고, 노광 후의 기판에 대하여 처리 블록에서 현상 처리를 행하고, 그 후 캐리어에 전달하도록 구성되며, 동일 시간당 기판의 처리 매수가 노광 장치보다도 많은 도포 현상 장치에 있어서,상기 도포막이 형성된, 노광 전의 기판을 일단 임시 적재하는 임시 적재부와,기판의 반송 경로에서 기판이 놓이는 모듈에 대하여 메인터넌스를 행하기 위해서, 당해 상류측의 기판의 반송을 정지하는 시간의 길이를 설정하기 위한 정지 시간
캐리어 블록에 적재된 캐리어로부터 취출된 기판을 처리 블록에서 레지스트막을 포함하는 도포막을 형성한 후, 노광 장치에 전달하고, 노광 후의 기판에 대하여 처리 블록에서 현상 처리를 행하고, 그 후 캐리어에 전달하도록 구성되며, 동일 시간당 기판의 처리 매수가 노광 장치보다도 많은 도포 현상 장치에 있어서,상기 도포막이 형성된, 노광 전의 기판을 일단 임시 적재하는 임시 적재부와,기판의 반송 경로에서 기판이 놓이는 모듈에 대하여 메인터넌스를 행하기 위해서, 당해 상류측의 기판의 반송을 정지하는 시간의 길이를 설정하기 위한 정지 시간 설정부와,상기 임시 적재부에 놓인 기판의 매수가 상기 정지 시간의 길이에 따른, 상기 처리 블록에 의한 기판의 처리 매수에 도달했는지 여부를 감시하고, 도달한 후에 임시 적재부보다도 상류측의 기판의 반송을 정지하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구비하고,상기 처리 블록은 동일한 액처리를 행하는 2개의 블록이 아래부터 순서대로 복수개 적층되도록 구성되어 있고,상기 제어부는, 상기 임시 적재부에 놓인 기판의 매수가 상기 정지 시간의 길이에 따른, 상기 처리 블록에 의한 기판의 처리 매수에 도달한 후, 그 시점에서 처리 블록 내에 존재하는 기판이 속하는 로트의 최종 기판이 캐리어 블록측으로부터 처리 블록으로 취출된 후, 후속하는 기판의 취출을 정지함과 함께, 당해 최종 기판이 처리 블록을 통과한 후, 상기 상류측의 기판의 반송을 정지하도록 제어 신호를 출력하도록 구성되어 있는, 도포 현상 장치.
연구과제 타임라인
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이 특허에 인용된 특허 (3)
[한국]
도포·현상 장치 및 도포·현상 방법 |
아키모토 마사미,
하야시 신이치,
하야시다 야스시,
마츠오카 노부아키
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