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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0002459 (2019-01-08) |
공개번호 | 10-2019-0089725 (2019-07-31) |
등록번호 | 10-2165321-0000 (2020-10-06) |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020180007963 (2018-01-22) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190002459 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-01-08) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 고분자 기재; 및 점착층;을 포함하고, 상기 점착층은 유리 전이 온도가 0℃ 이상인 단량체 또는 올리고머로부터 유래한 반복 단위를 30 내지 60중량% 포함하는 (메트)아크릴레이트 수지를 포함하고, 상기 점착층의 유리 전이 온도가 -20℃ 내지 10℃인 백 그라인딩 테이프와 백 그라인딩 테이프를 이용한 웨이퍼의 연삭 방법에 관한 것이다.
고분자 기재 및 점착층을 포함하고, 상기 점착층은 유리 전이 온도가 0℃ 이상인 단량체 또는 올리고머로부터 유래한 반복 단위 30 내지 60 중량%; 및 탄소수 2 내지 12의 알킬기를 가지는 (메트)아크릴레이트계 반복 단위 및 가교성 관능기를 함유한 (메트)아크릴레이트계 반복 단위 40 내지 70 중량%를 포함하는 (메트)아크릴레이트 수지를 포함하고, 상기 (메트)아크릴레이트 수지의 측쇄에는 2-메타크로일옥시에틸이소시아네이트로부터 형성된 자외선 경화기가 도입되어 있고, 상기 유리 전이 온도가 0℃ 이상인 단량체 또는 올리고머는 메
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